中国粉体网讯 4月2日，君原电子与东湖高新区签约，将在光谷建设半导体静电吸盘项目。
此次签约项目落户未来科技城光谷筑芯科技产业园，将建设静电吸盘产线，就近为光谷集成电路企业提供静电吸盘生产与维修服务。
静电吸盘：半导体设备核心零部件之一
静电吸盘（ESC）又名静电卡盘，广泛应用于集成电路制造工艺中，是离子注入、刻蚀、薄膜沉积、光刻机、量检测设备等关键制程设备的核心零部件之一，也是半导体设备中价值比较高的部件之一。
作为离子注入、刻蚀等关键制程核心零部件之一，为满足在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制等作用的需要，需加入其他导电物质使得静电吸盘总体电阻率满足功能性要求，还需在较低的烧结温度下实现纳米级陶瓷粉体快速致密化，静电吸盘表面处理后还要达到0.01微米左右的涂层，才能制备出致密性高、晶体结构稳定、体电阻率分布均匀且符合静电卡盘使用特性的专用陶瓷材料。因此，静电吸盘（ESC）的制造需要对材料的导热性，耐磨性及硬度指标非常了解，对精密机加工和表面处理技术要求也很高。
按照材料划分，静电吸盘（ESC）分为氧化铝陶瓷和氮化铝陶瓷（一般应用于静电吸盘、加热器）两大类。陶瓷材料具有良好的导热性，耐磨性及高硬度，且对比金属材料在电绝缘性方面有着先天的优势。从技术层面来看，除所承载晶圆规格尺寸逐步增大之外，静电吸盘（ESC）的发展趋势主要表现为温度均匀性控制需求提升，即分区温控温区数量逐渐提高。
近年来，随着国家加大半导体领域的投入，我国半导体设备采购额逐年增加，推动了包括静电吸盘（ESC）在内的核心部件的采购量增长。此外，随着中国大陆晶圆产能的建设和扩产，中国成为全球晶圆产能增长的重心，带动国产半导体设备的需求增长，为国产静电吸盘（ESC）的发展提供了良好的机遇。
关于君原电子
根据公开资料显示，君原电子成立于2020年，公司是由中国大陆、台湾、韩国和日本等地的集成电路资深人士联合创立的半导体材料和零部件生产企业，主要业务包括生产高品质的静电吸盘、高频电源模块、刻蚀气体和化学气相沉积（CVD）材料等半导体设备相关产品。其中，静电吸盘是其核心产品之一，具备半导体静电吸盘（ESC）从研发到量产的全流程能力。公司产品线实现对14nm（及以上）的主要刻蚀机台静电吸盘产品的全覆盖，产品已经在国内12寸和8寸集成电路领域企业中获得应用。
君原电子总经理王继增表示，项目落户光谷，将进一步拉近与光谷集成电路企业的距离，降低物流成本，提高产品应用效率。未来公司将与当地产业链上下游企业协同合作，不断突破半导体静电吸盘技术，力争成为全球技术领先的集成电路核心零部件供应商。
来源：中国光谷、粉体网、芯慧通Chipisc
（中国粉体网编辑整理/空青）
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