中国粉体网讯 近年来，国内半导体产业快速发展，头部企业纷纷跑马圈地，成为各地争抢的“香饽饽”。湖北荆州也加速抢占新赛道，各企业依靠科技创新后发赶超，接连攻克半导体产业“卡脖子”技术，助力荆州半导体产业加速聚链成群，一批半导体材料项目正快速崛起。
那么，湖北荆州的各企业是如何串起半导体产业链的？
2023年，由先导科技集团投资的湖北先导电子信息产业园落户荆州，先导科技集团是一家专业从事稀散金属及其高端材料研发生产的高新技术企业，产品广泛应用于半导体、微电子、光通讯等领域。产业园共投资200亿，计划建设集成电路关键材料、稀散金属回收加工、新一代半导体材料、太阳能电池及创新研究院等项目。
光掩膜石英玻璃基板
光掩膜技术作为半导体技术中的重要组成部分，其制作材料包含玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等，其中玻璃基板为主要的原材料。玻璃基板多使用石英玻璃基板和钠钙玻璃基板，石英玻璃基板的主体为石英玻璃，其光学透过率高，热膨胀率低，光谱特性优良，相比钠钙玻璃具有更高的硬度和更长的使用寿命，适用于高精度光掩膜基板的制造。因此，石英玻璃在光掩膜基板的材料选择中更具备优势，且市场需求逐年递增。
湖北菲利华石英玻璃股份有限公司现为国内外具有较大影响力和规模优势的石英材料及石英纤维制造企业。经过多年研发，湖北菲利华石英玻璃股份有限公司积极开拓光掩膜基板新领域。公司独家研发生产G8.5代光掩膜基板之后，又于2022年研发了G10.5代，现在已具备从G4.5代至G10.5代全规格生产能力，为平面显示器国产化进程提供了良好的材料支撑。
湿电子化学品
湿电子化学品（简称湿化学品），国际上统称工艺化学品，是微电子、光电子湿法工艺制程（主要包括湿法清洗、显影、蚀刻、电镀等）中使用的各种液体化工材料的总称。湿化学品制造环节处于产业链中游，上游主要依托基础化工原料，下游为半导体芯片、新型显示面板和太阳能电池片等元器件，及其消费电子、车载电子、网络通信、航空航天等领域终端产品。
2023年7月，联仕（湖北）新材料有限公司正式投产，主要从事超净高纯湿电子化学品的研发、生产提纯和销售，成功突破了关键材料“卡脖子”难题，产品工艺处于行业领先地位，主要产品能满足国内最尖端半导体制程使用标准，客户涵盖台积电、中芯国际等全球前十集成电路企业及国内知名集成电路企业。
电子特种气体
在半导体行业生产过程中，从芯片制造到最后器件封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，业内将电子特气称为半导体制程的“血液”。具体到集成电路领域，电子特气应用的种类超过110种，用于光刻、刻蚀、清洗等工艺环节，本身是半导体行业必需的支撑性材料。半导体行业对于气源及其供应系统有着严苛的要求，电子气体的深度提纯难度大，而纯度是气体质量最重要的指标。在芯片加工过程中，微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。近年来，随着国内半导体、面板、光伏等投资和国产化加速，市场对电子特气产品的需求越来越大。
来源：荆州发布
太和气体专注于高纯半导体特气领域，在国内率先自主研发生产高纯氯、氯化氢、乙硼烷、溴化氢等拳头产品，生产工艺技术和品质均达到国际先进水平，多项产品填补国内空白。目前，太和气体已拥有25项电子特气核心技术专利，入选国家级专精特新“小巨人”企业，建成半导体电子特种气体湖北省工程研究中心等研发平台。成为国内高纯氯、氯化氢和乙硼烷电子特气品种名列前茅的制造商，产品进入台积电、三星电子、京东方、中芯国际等国际知名半导体供应链。
高纯半导体金属材料
高纯金属应用于多环节，是半导体产业的基础。从半导体产业环节来看，高纯金属主要应用于掺杂、衬底、外延和靶材四大环节；从金属种类来看，涉及锗、镓、铟、碲、镉、锑、铋等多种材料。在第一代硅基半导体的硅片制造过程中可掺杂6N5 Al；化合物半导体的GaAs、InP、GaN、CdTe等本身的衬底及外延片的生产过程中，便需要7N5 Ga、7N In、7N Cd、7N Te等作为初始原材料；而像晶圆制造、液晶显示等领域的半导体靶材同样需要Pd、Ti、In、Sn等高纯金属材料。
武汉拓材科技有限公司是一家专注于研发、生产、销售高纯（超纯）金属/半导体材料的高新技术企业，依托武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室的技术和人才优势，从事超高纯半导体及特种功能材料技术。2023年9月开工的拓材科技年产1000吨高纯半导体材料项目，计划在荆州建设高纯半导体材料产业基地和国家级高纯材料工程研发技术中心。
半导体金刚石
湖北瑞华科技有限公司项目一期主要采取微波等离子体化学气相沉积法工艺，批量生长大尺寸金刚石；项目二期主要以半导体与研发功能性人造金刚石生产技术及产业化。
单晶金刚石具有超宽的禁带宽度、低的介电常数、高的击穿电压、高的本征电子和空穴迁移率，以及优越的抗辐射性能，是已知的最优秀的宽禁带高温半导体材料。相比常规的半导体材料硅，金刚石优异的热导率能够及时散发电路运转过程中的热量，从而极大地提高精密仪器的运行功率，避免热量聚集引起的各类电子器件损坏。另外，金刚石的饱和载流子速度优于其他的半导体材料，高的电子迁移率及极高的击穿电场使其成为高频半导体器件的理想衬底材料。
高纯半导体薄膜前驱体
来源：安德科铭
2024年1月，安德科铭半导体科技有限公司落户荆州，投资10亿元建设高纯半导体薄膜前驱体生产基地。半导体前驱体材料主要应用于半导体制造中的薄膜沉积工艺，是薄膜沉积工艺的核心材料，是晶圆制造工艺的“前驱体”。半导体前驱体是ALD和CVD薄膜沉积工艺的核心材料，是用于形成符合半导体制造要求的各类薄膜层的核心原材料。作为集成电路材料的细分产品，具有研发投入大、制备工艺难度及纯度要求高、客户认证周期长等特点，具备极高的准入门槛，是衡量集成电路材料制备水平的标志性产品之一。
就这样，荆州经形成了以菲利华为代表的光掩模基板产业，以太和气体为代表的电子特气产业，以联仕新材料为代表的湿电子化学品产业，以先导稀材、拓材科技为代表的高纯半导体金属材料产业，以湖北瑞华为代表的半导体金刚石产业等细分领域，半导体产业集群效应显现。
参考来源：
湖北日报.头部企业纷纷抢滩，荆州半导体产业加速聚链成群——“芯”赛道跑出“荆”动能
荆州日报.破题起势！半导体产业发展正当时
陈娅丽.光掩膜石英玻璃基板的制造工艺概述
杨亮亮等.中国湿电子化学品发展现状与展望
电脑报.电子特种气体何时才能不被卡脖子？
刘俊杰.半导体用大尺寸单晶金刚石衬底制备及加工研究现状
思瀚产业研究院.先进前驱体材料行业整体竞争格局及市场集中情况
（中国粉体网编辑整理/初末）
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