中国粉体网讯
超纳材料是尺寸小于10nm的纳米材料的下一代革命性材料技术,具有反常于纳米材料的超小尺寸效应,在半导体精密抛光、光罩缺陷修复、光学精密加工、量子计算、生物医药、航空航天航海、人工智能等方面有厂泛的应用前景,在化学、物理、材料、生物、量子等领域具有研究价值和应用价值。
苏州极钻纳米科技有限责任公司创立于2024年4月,作为超纳材料高新技术的先锋,公司以半导体产品与车规新能源材料双轮驱动,构建起以研发为主导、生产、销售、进出口为一体的产学研结合新星企业,专注于硬科技、卡脖子、国产替代的战略布局。
在抛光液领域,公司已取得显著成果。抛光液是化学机械抛光的重要组成部分,在抛光过程中,抛光液中的氧化剂、表面活性剂等与工件发生化学反应,使工件表面软化;抛光液中的磨粒会对工件的软化层进行机械磨削,使未反应的材料表面暴露出来,进而确保了材料表面的化学反应进行下去。公司现有产品包括超纳金刚石精抛液、金刚石量子点基抛光材料和金刚石量子点基混合抛光材料,规划产品有超纳磁流变液、微纳金刚石砂轮、光罩保护膜、金刚石保护膜、金刚石刀具、金刚石单光子器件、双极板、核电池等相关产品与服务。
公司聚焦半导体制造关键耗材国产化,通过技术创新和产业链国产化,提供高精度、低成本的半导体化学物理抛光耗材,满足高端市场需求。极钻纳米致力于研发抛光颗粒粒径控制在2-5nm之间(分布误差±0.5nm),达到行业最小尺寸极限,完成抛光精度表面粗糙度达0.1nm(原子级),面型精度优于40nm,缺陷40nm小于10颗。公司通过宏微观算法模型优化CMP工艺参数,提升抛光效率并降低生产成本,预计在三年内申请发明专利5项,国际发明2项,融资3000万元人民币,用于原材料、生产设备、检验设备投资。将团队扩充至50人,建设500平无尘生产车间。相关项目预计在2025年实现500万元销售收入,2026年实现1000万的销售收入,2027年实现2000万的销售收入。
研磨抛光技术在集成电路芯片的制作中具有重要作用,针对高端研磨抛光相关的技术、材料、设备、市场等方面的问题,中国粉体网将于2025年4月16日在河南郑州举办2025第二届高端研磨抛光材料技术大会。届时,苏州极钻纳米科技有限公司董事长刘添彪将作题为《超纳金刚石光罩精抛液材料与算法研发产业化》的报告。
专家简介:
刘添彪,男,31岁,拥有3年半导体材料和设备研发经验,专注于掩膜版新材料研发、工艺优化及项目管理。熟悉i-line、KrF、ArF、EUV掩膜版技术,具备超精细研磨抛光、离子束抛光及飞秒激光加工等先进技术的实践经验。在高纯靶材国产化、光刻胶开发等“卡脖子”技术领域取得突破性成果,撰写多篇专利,并与国内龙头企业合作推动技术落地。具备扎实的材料科学背景,熟练掌握多种材料表征和测试技术,如高压原位拉曼光谱、同步辐射等。责任心强,创新能力突出,善于团队协作与问题解决,致力于通过技术创新推动半导体材料国产化进程。
参考来源:
[1]中国粉体网
[2]贺祥等,混合磨粒 CMP 抛光液的制备及抛光效果研究
(中国粉体网编辑整理/山林)
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