【原创】一文看懂磁控直拉单晶硅用超导磁体


来源:中国粉体网   星耀

[导读]  超导材料领域中的“MCZ用超磁导体”主要用在半导体单晶硅生产,请问这种超导磁体是生产单晶硅的半导体设备中的一种零部件?还是一种有耗材属性的生产半导体材料?

中国粉体网讯  近日,小编看到这样一个问题:超导材料领域中的“MCZ用超导磁体”主要用在半导体单晶硅生产,请问这种超导磁体是生产单晶硅的半导体设备中的一种零部件?还是一种有耗材属性的生产半导体材料?


首先我们认识一下什么是MCZ。


MCZ,英文名字为Magnetic Field Applied Czochralski Method,即磁控直拉单晶硅技术,是一种在传统直拉(CZ)硅单晶生长基础上,外加磁场,从而抑制晶体生长中产生的热对流,有效提高长晶成功率,降低晶体内的氧含量,从而提高晶体质量。MCZ是目前国际上生产300mm以上大尺寸半导体级单晶硅的最主要方法。


超导磁体是什么?


超导磁体是指低温下用具有高转变温度和临界磁场特别高的第二类超导体制成线圈的一种电磁体。它的主要特点是无导线电阻产生的电损耗,也没有因铁芯存在而产生的磁损耗,具有很强的实用价值。在工业和科研上应用极广,但它必须在液态氦温度下工作,成本较高。


MCZ用超导磁体


磁控直拉单晶硅用超导磁体,用于对磁控直拉法制备单晶硅提供背景磁场,是半导体单晶硅长晶炉一个重要组件。制冷机直冷超导磁体的特点是不需要用液氮,这降低了冷却成本,且磁体体积较小, 操作较为方便。


 

图片来源:西安聚能超导磁体


西部超导自主研发的专门用于磁控直拉单晶硅的大型制冷机直冷超导磁体实现了批量化制造,已服务国内外多家高品质300mm单晶硅棒生产企业,使用效果良好。


参考来源:每日经济新闻、西部聚能超导磁体科技有限公司、爱企查等。

【1】穆童.超导横向磁场在大尺寸半导体级单晶硅长晶中的应用.时代农机.2020.

(中国粉体网编辑整理/星耀)

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作者:星耀

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