【原创】3D NAND迈入“钼时代”,半导体高纯钼粉打开粉体新增长赛道


来源:中国粉体网   留白

[导读]  随着3D NAND闪存堆叠层数突破300层向更高密度迭代,传统钨基金属字线触及物理性能极限,“以钼代钨”成为全球存储行业的刚性技术路线。

中国粉体网讯  随着3D NAND闪存堆叠层数突破300层向更高密度迭代,传统钨基金属字线触及物理性能极限,“以钼代钨”成为全球存储行业的刚性技术路线,这一变革直接拉动上游半导体级高纯钼粉需求升级,为半导体金属粉体产业开辟全新高端细分赛道。



在超高层堆叠结构中,字线宽度被压缩至20nm以下,传统钨材料电阻率急剧上升,导致信号延迟、功耗升高,同时钨沉积工艺需额外铺设氮化钛阻挡层,数百层堆叠后大幅挤占芯片空间,成为制约堆叠层数提升的核心瓶颈。相比之下,钼在纳米尺度下具备更低的电阻率,且无需额外阻挡层即可实现深孔均匀填充,可直接提升芯片存储密度与读写速度,成为300层以上3D NAND字线的唯一可行替代材料。

 

这一技术迭代对上游钼粉材料提出了极高的品质门槛,完全区别于传统工业级钼粉。半导体前端制程用钼粉要求纯度达到5N(99.999%)至6N级别,氧含量需控制在10ppm以内,铁、镍、铜等总金属杂质低于5ppm,同时对粉体粒径分布、球形度、分散性均有严苛要求,以适配CVD、ALD原子层沉积工艺的均匀性需求。高纯度与高精度管控带来显著的价值溢价,半导体级高纯钼粉价格可达普通工业钼粉的5至10倍,成为钨钼粉体领域附加值最高的细分品类之一。


 

不同金属在不同厚度下的电阻率(图源:imec)

 

全球产业落地节奏正在持续加快。三星电子2024年已在286层3D NAND中率先量产应用钼字线工艺,SK海力士375层V10系列产品已完成生产验证,计划2026年底正式量产,美光、铠侠也同步推进钼工艺研发,预计2027至2028年实现量产落地。据行业测算,钼在全球NAND总产能中的占比将从2025年的个位数快速提升至2027年的约30%,对应半导体级高纯钼粉需求将实现数倍增长,成为驱动电子金属粉体市场增长的新动力。



当前国内半导体用高纯钼粉尚处于产业化初期,高端市场长期被海外厂商垄断。近年来国内头部钨钼粉体企业加速技术攻坚,金钼股份、厦门钨业、金渠钼业等企业已实现4N至5N级高纯钼粉量产,部分企业5N级产品已通过晶圆厂工艺验证,6N级超高纯粉体也进入中试阶段。但整体来看,国内产品在痕量杂质精准管控、粒径分布均匀性等方面与国际顶尖水平仍有差距,下游存储芯片厂商的认证周期较长,规模化替代仍需时间。

 

整体而言,3D NAND的“钼代钨”趋势,为国内金属粉体产业打开了半导体前端制程的高端增量市场,推动行业从传统冶金级粉体向电子级、半导体级超高纯粉体升级。随着国内存储芯片产能持续扩张,上游高纯钼粉的国产替代空间广阔,将倒逼国内粉体企业提升提纯、制备与杂质管控能力,加速半导体金属材料的自主可控进程。

 

参考来源:
财联社、新浪财经、36氪

 

(中国粉体网编辑整理/留白)

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