中国粉体网讯 近日，国内首家实现规模化生产半导体静电吸盘的厂商君原电子科技(海宁)有限公司（简称：君原电子）完成C+轮融资，国策投资携手道禾拓荆芯链基金、智微资本共同参与本轮投资。
君原电子落户光谷筑芯科技产业园，来源：中国光谷
值得注意的是，在此前多轮次融资中，公司已获包括石溪资本、深重投、华虹虹芯、芯联基金、拓荆岩泉等众多知名产业资本支持。
静电卡盘又称静电吸盘，其基本功能是对晶片提供静电吸附力传输晶片，在集成电路制造中是薄膜设备、刻蚀机、离子注入机、量测设备等高端装备的核心部件。
在半导体设备中，静电吸盘属于高价值关键部件，在半导体设备零部件中价值占比约16%，仅次于机械手和真空泵。根据QY Research报告显示，预计2030年全球陶瓷静电卡盘市场规模将达到24.24亿美元，2023-2030年复合增长率为4.99%。
君原电子成立于2020年，公司主要业务包括生产高品质的静电吸盘、高频电源模块、刻蚀气体和化学气相沉积（CVD）材料等半导体设备相关产品。其中，静电吸盘是其核心产品之一，具备半导体静电吸盘（ESC）从研发到量产的全流程能力。公司产品线实现对14nm（及以上）的主要刻蚀机台静电吸盘产品的全覆盖，产品已经在国内12寸和8寸集成电路领域企业中获得应用。
去年4月，君原电子与武汉东湖高新区签约，将在光谷建设半导体静电吸盘项目。该项目将建设静电吸盘产线，就近为光谷集成电路企业提供静电吸盘生产与维修服务。
来源：国策投资、中国光谷
（中国粉体网编辑整理/空青）
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