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泽攸科技成立于2016年,拥有安徽铜陵、北京、上海和东莞四家分公司,是一家具有完全自主知识产权的精密仪器高科技公司。公司专注于扫描电镜、原位测量系统、台阶仪、探针台、电子束光刻机等精密设备的研究,填补了国家在科学精密仪器领域的诸多空白。
经过二十多年的技术积累,以及一支专业的研发与生产团队,泽攸科技以自主知识产权的技术为核心,在半导体芯片加工和材料表征测量领域属于国内佼佼者。关键半导体加工与材料表征测量仪器设备实现国产化,关键之处就在于实现自主可控。未来,泽攸科技还将继续坚持“用精密量测赋能科技创新”的理念,以“科技指领”打破进口纳米科学仪器设备的垄断,聚焦新材料、新能源、半导体、生物医药、基础科研等前沿领域,实现自主研发,打造集微纳米加工、微纳表征、微纳操纵于一体的纳米技术全产业链解决方案,加速国产科学科研仪器产业落地,助力国产科学仪器健康蓬勃发展。
1.ZEM Ultra场发射台式扫描电镜
ZEM Ultra 台式扫描电镜采用肖特基场发射电子源,三级独立真空设计,优于2.5nm的分辨率满足多数样品微纳结构表征需求。标配大束流及大样品仓,支持原位功能样品台及EDS/EBSD拓展。泽攸科技推出的ZEM系列台式扫描电镜,融合了众多创新技术,不仅成像效果卓越,而且便于携带,能够满足多样化的应用需求。在国内外,ZEM系列以其高端定位和多样化型号,已在成像清晰度、用户友好性以及系统整合性等方面达到了先进标准。该系列产品以其高度的集成性和多样化的配置选项而著称,用户界面简洁,易于学习和操作,即使是非专业用户也能迅速掌握。配备的软件支持整个工作流程,从样品准备、参数调整到图像分析,提供了一体化的高效解决方案。ZEM系列在新材料、新能源、生物医药和半导体等多个领域均显示出了其强大的分析能力,助力科研工作者深入探索微观世界的神秘。因其卓越的性价比,ZEM系列已成为众多高校、研究机构和企业重点选择的台式扫描电镜。▲ 真空分隔技术:采用独特真空设计,电子枪和样品仓真空分离,换样时间小于1min。▲ 超大样品仓:提供了更大的样品存储空间,方便用户操作。▲ 超高分辨率:极限放大倍数达到36万倍,分辨率4nm@20kV。▲ 选配减速模式:允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。▲ 仓内摄像头:样品仓内置高清摄像头,原位实验时可实时监测样品原位变化。国产半自动台阶仪JS100B/200B/300B,拥有高精度、高分解能力,搭配一体花岗岩结构,提供稳定可靠的重复性测量。JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。 量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比。泽攸科技ZEL304G电子束光刻机(EBL)采用场发射电子枪,配合一体化的高速图形发生系统实现对半导体晶圆的高速、高分辨光刻。该系统标配高精度激光干涉样品台,允许用户实现大行程高精度拼接和套刻需求,在新材料、前沿物理研究、半导体、微电子、光子、量子研究领域发挥重要作用。▲ 激光干涉样品台:先进的激光干涉样品台,满足大行程高精度拼接和套刻需求。▲ 场发射电子枪:高分辨场发射电子枪是光刻质量的重要保证。▲ 图形发生器:在保证超高速扫描的同时实现超高分辨率图案绘制。PicoFemto透射电镜多孔样品杆,多孔样品杆使研究者们可以将三个样品同时置入透射电镜中,大大提高了透射电镜的使用效率。该产品还可以选择双倾版本,每个样品都可以独立实现双向倾转。
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