中国粉体网讯 总部位于荷兰的阿斯麦(ASML)，是全球最大的光刻机制造商，全球芯片厂商最先进制程的芯片所需的EUV光刻设备，全部都来自阿斯麦。
据多家外媒最新消息，因潜在的反移民政策影响，ASML正计划从荷兰迁往其他国家或向海外大举扩张。ASML作为荷兰在全球制造业最闪耀的一张名片，此消息一出，荷兰政府采取了紧急行动，目前正在跟ASML谈判，以确保ASML不会将业务转移到其他国家。有消息称荷兰相关部门将这一紧急行动称为“贝多芬行动”。
光刻机——执光为画笔，“现代光学工业之花”
一颗芯片的诞生流程极其漫长，经历重重考验，可分为芯片设计、前道工序（芯片制造）和后道工序（封测）三个环节。前道工序是芯片产业链的核心环节，是指根据芯片设计版图，采用乐高盖房子方式，以晶圆作为地基，在晶片或介质基片上进行扩散、薄膜、光刻、刻蚀、离子注入、化学机械抛光(CMP)、金属化、量测等工序，层层往上叠的芯片制造流程，最终将芯片设计公司设计好的电路图移植到晶圆上，并实现预定的芯片电学功能。
前道工序九大设备主要包括：扩散炉、薄膜沉积设备(包括PECVD、LPCVD、ALD等)、光刻机、涂胶显影机、刻蚀机、离子注入设备、CMP、量测设备和清洗设备。
光刻机能将设计好的电路图从掩膜版转印到晶圆表面的光刻胶上，通过曝光、显影将目标图形印刻到特定材料上。
光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤，耗时长、成本高。半导体芯片生产的难点和关键点在于将电路图从掩模上转移至硅片上，这一过程通过光刻来实现，光刻技术水平直接决定了芯片的最小线宽，定义了半导体器件的特征尺寸，光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平。芯片在生产中需要进行20-30次的光刻，先进技术节点的芯片制造需要60-90步光刻工艺，耗时占到IC生产环节的50%左右，占芯片生产成本的1/3。
于是，完成上述复杂工艺的光刻机则成为了前道工序九大设备之首，在芯片生产线总投资的占比约为20%。
光刻机的“名气”不仅体现在其在半导体制造工序中的重要位置，还体现在其极高的制造难度。光刻机集成了物理学、超精密光学、精密仪器、高分子物理与化学、数学、材料、自动控制、流体力学、高精度环境控制、软件等40多个学科的最新科学成就。
ASML工程师称，EUV光刻机可能是人类迄今制造的最复杂最精密的机器之一。它的工作，相当于用波长只有头发直径一万分之一的极紫外光，在晶圆上绘制电路，能够让指甲盖大小的芯片，包含上百亿个晶体管。
以一台ASML EUV光刻机为例，由来自全球近800家供应商的数十万个零件组成，每个模块在ASML遍布全球的工厂中生产，再运往荷兰总部组装，光安装调试就需要一年左右。所需零部件不仅数量惊人，在精密度等方面也异常苛刻，以光刻机中工件台为例，该工件台主要负责完成曝光运动，要求实现高速、大行程、六自由度的纳米级超精密运动，如对于100nm分辨率、套刻精度为33nm和线宽为10nm的光刻机，其工件台定位精度要求达到10nm，掩模硅片同时步进和扫描速度分别达到150nm/s和120nm/s，掩模扫描速度接近500nm/s，并且要求工件台具有非常高的运动精度和平稳性。
而且十万个零部件在材质上也分为陶瓷件、石英件、金属件、塑料件、石墨件等等不同零部件，一般均需量身定做。以陶瓷件为例，一台光刻机的工件台、导轨、反射镜、陶瓷吸盘、手臂等等多个关键部位都需要精密陶瓷部件。
碳化硅吸盘，碳化硅气浮导轨（图片来源：中国建材总院）
在60余年的发展历程中,光刻机（包括其零部件）不断挑战人类超精密制造装备的极限，被誉为“现代光学工业之花”，芯片产业“皇冠上的明珠”。
阿斯麦出走计划何以让荷兰政府慌得一批？
光刻机是芯片产业上游最关键的环节，是摩尔定律能够延续的核心，也是信息时代及未来人工智能时代的根基。
阿斯麦在这个产业拥有着无与伦比的竞争优势，其在深紫外（DUV）光刻机拥有超过80%的市场份额，在最先进的极紫外（EUV）光刻机拥有100%的市场份额，是名副其实的垄断者。据SEMI统计，ASML2023年营收增长30%，以276亿欧元的销售额，超越美国应用材料(AMAT)排名第一。
当前，EUV光刻机在7nm及以下制程是唯一的光刻工具。日本铠侠(KIOXIA）等企业正在研发“纳米压印”技术，理论上只能支持15nm制程，且在理想情况下，2025年才能实现实用化。而量子计算主要在实验室里进行，完全不具有可比性。因此，现在没有任何迹象会出现一个颠覆式的技术创新，对EUV光刻机形成威胁。
当下的世界大环境，已让阿斯麦不仅在经济上，还在地缘政治上具有了罕见的价值。中、美、欧都意识到了芯片制造本土化是核心的国家安全，都在政策、资金上大力扶持本土企业，或者吸引中国台湾、韩国的芯片代工龙头在本地投资建厂。新产能需要大量新增设备，而其中的EUV光刻机，则完全把握在阿斯麦的手里。
不夸张的说，如果没有少数强权国家的干涉，阿斯麦可以决定任何芯片制造企业的命运，而芯片制造企业能决定手机、电脑、云计算、智能车等下游企业的命运，而这些企业又能决定一个国家或经济体的高端制造业水平、信息化和智能化水平以及国防工业的水平，进而很大程度上决定了一个国家的综合实力。
彭博社认为，在中美“芯片竞争”加剧之际，ASML不仅具有巨大的经济价值，而且具有战略意义。
因此，这也是荷兰政府对于此次ASML“出走计划”高度紧张的缘故。
参考来源：
[1]EUV光刻机，大结局？.半导体行业观察
[2]刘海林等.光刻机用精密碳化硅陶瓷部件制备技术
[3]中国粉体网
