中国粉体网讯 近日，湖南石门县与上海戎创铠迅举行湖南嵘创凯迅新材料项目签约仪式，本次签约，标志着双方在无机新材料领域的合作持续深化，石门县新材料产业链布局再添重要一环，为全县打造高端无机新材料产业集群注入强劲新动能。
来源：石门融媒
据了解，上海戎创铠迅特种材料有限公司，成立于上海市工业综合开发区，是一家主要从事半导体陶瓷靶材、粉末冶金靶材、陶瓷零部件；先进陶瓷材料及制品；高分子材料及制品；中子吸收材料的技术研发、生产、销售为一体的高科技公司。公司产品面向半导体、高端装备等战略性新兴产业，是国内先进特种陶瓷新材料领域的标杆企业之一，与石门打造无机新材料产业集群的发展方向高度契合 。
目前公司已经投产的有上海奉贤、江西景德镇两大生产基地，拥有国内单体容积超大的1500吨高温热压炉生产线，以及30余台套600吨自动压机、冷等静压机、热等静压机、真空热压烧结炉、真空无压烧结炉、氧气分烧结炉等全套特种陶瓷材料及粉末冶金产品的生产设备。公司现主要产品有：碳化硼、碳化硅、氧化铝、氮化硼、氮化铝系列半导体陶瓷零部件，半导体陶瓷靶材，以及应用于半导体、太阳能、LCD等行业的钨及其合金的粉末冶金靶材。
总投资2亿元，布局两大半导体高端产品线
本次签约的湖南嵘创凯迅新材料项目为产业二期项目，是在江丰同创特色粉体产业园一期项目顺利落地、良好运营的基础上，双方深化合作的重点产业项目。项目计划总投资2亿元，规划建设半导体超级高纯钨制品、超纯6N CVD碳化硅粉体生产线。
高纯钨制品
难熔金属钨由于具有电子迁移抗力高、高温稳定性好以及电子发射系数非常高等优点，在半导体大规模集成电路制造过程中有着广泛的应用。高纯钨及钨合金等材料常作为物理气相沉积用溅射靶材，在半导体领域用于制作栅电极、连接布线、扩散阻挡层等。
来源：戎创铠迅
高纯度的钨粉是制备高纯钨及钨合金靶材的基础原料。随着半导体集成电路的集成度越来越高，半导体电路中晶体管和线路的尺寸越来越小，对所用的钨及钨合金等材料的纯度要求也越来越高。
超纯碳化硅粉体
碳化硅粉体是一种由硅和碳元素组成的高性能无机非金属材料，是制造高性能结构陶瓷（如密封环、喷嘴）、耐火材料、磨料、以及半导体单晶生长基片的关键原材料。
来源：戎创铠迅
在半导体碳化硅单晶领域，目前，碳化硅晶体生长最为有效的手段是PVT法，它以低缺陷水准为特色，成为当前主流的商业化量产技术。在PVT法中，影响碳化硅晶体合成的因素有很多，其中碳化硅粉体作为合成原料会直接影响SiC单晶的生长质量和电学性质。
在半导体精密碳化硅陶瓷构件领域，包含晶圆载盘、刻蚀喷淋头、真空吸盘、散热基板等，大量使用高纯碳化硅粉体。这类部件应用于晶圆刻蚀、沉积等核心制程，要求材料高纯、低释气、高致密度、耐等离子体腐蚀，零部件供应链长期封闭在海外设备厂商体系内，准入门槛极高。
据悉，此前落地的湖南戎创铠迅高端新材料基地一期已经竣工，投产后可实现半导体陶瓷材料全链条生产，预计年产值可达4亿元。本次湖南嵘创凯迅新材料项目签约，是原有合作的延伸升级，将进一步放大龙头带动效应，补齐产业链上下游配套短板，推动产业从单一原料加工向高端粉体、精密零部件制造转型，助力实现关键材料国产化自主可控，推动“点石成金”的资源优势转化为产业优势、经济优势。
来源：
石门融媒、潇湘石门、戎创铠迅官网
魏修宇.半导体用高纯钨靶材的制备技术与应用
（中国粉体网编辑整理/初末）
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