中国粉体网讯 石英坩埚具有耐高温、使用时间长、高纯度等特点,是太阳能拉制单晶硅棒的辅助性耗材。
光伏单晶对石英坩埚的品质需求
光伏直拉单晶对于坩埚的品质需求
在光伏行业中,石英坩埚中杂质元素含量过高时,石英坩埚在高温状态下容易析晶;Al含量过高时,会影响拉制单晶硅的纯度;K、Na、Li等碱金属元素含量超标时,将导致石英坩埚的软化点大幅下降,造成坩埚坍塌,使拉晶无法进行。普通坩埚使用后内表面气泡较多,使用中内表面气泡不断破裂,直接污染硅熔体、影响单晶拉制。气泡破裂现象随着时间的增加愈加严重,无法满足长时间拉晶的需要。高品质坩埚使用后内表面基本无气泡,使用中内表面气泡破裂现象极少,为长时间连续拉晶提供保障。因此,石英坩埚工艺技术一直向“长寿命、低成本、大尺寸、高纯度”方向发展,以满足其在光伏直拉单晶制造中的需求。
坩埚关键性能对石英砂的需求
高纯石英砂是石英坩埚核心原材料,其纯度显著影响拉晶效果。
石英坩埚的原材料是高纯石英砂,石英坩埚一般分为内外双层(或三层)结构,石英砂的纯度会直接影响硅棒拉晶质量。中外层洁净度要求较低,目前内层用高纯石英砂是供给侧最大短板。业内常见分层比例为 3:4:3,即单个石英坩埚内层砂占比三成,中层砂占比四成,外层砂占比三成。内层石英砂因为直接接触晶液,如果纯度不足,则会出现杂质析出至晶体影响晶体纯度情况。
石英砂品质对坩埚品质的影响
石英坩埚的寿命是其综合品质的体现,其中,纯度保证了坩埚不会形成太厚的析晶层,高温强度保证了坩埚长时间运行不变形塌边,透明层品质保证了拉晶过程的顺畅、不断线。而石英砂的纯度、羟基含量、气液包裹体及石英砂的粒度都等影响着石英坩埚的品质。
石英坩埚对石英砂的品质要求
石英砂杂质含量
石英砂原料杂质含量高会导致坩埚破裂及影响单晶生长。如果Na、K、Li、Ca等杂质元素含量高,会促使坩埚析晶,使坩埚失透和变形,影响坩埚的力学性能、电阻分布,造成坩埚塌陷。另外,过渡金属(Cr、Cu、Fe等)含量过高时,会使石英坩埚产生色斑或引起高温变色,影响光透过率。
石英砂的羟基及气液包裹体含量
石英坩埚中的羟基缺陷会破坏Si-O键,导致其结构疏松度增加,化学稳定性降低。石英砂中的气液包裹体在高温熔制石英玻璃的过程中H2O能与SiO2熔体发生反应,使得羟基含量增高,造成气泡增加。
如果坩埚内层的微气泡比较多,拉晶高温下就会膨胀,把内层拱破,颗粒就进入硅液当中,造成硅棒断棱,影响拉晶成晶率;同时,气体进入硅液形成导致后期的硅片报废。
石英砂的粒度分布
不同类型的石英原料的嵌布粒度特征存在明显的差异,这与矿床成因密切相关。如脉石英的嵌布粒度主要受成矿环境制约和岩浆活动影响,常常共生有白云母等铝硅酸盐矿物,这些矿物的嵌布粒度大小直接影响石英的单体解离度,当粉碎颗粒粒度小于石英时,脉石矿物才能从连生体中解离出来。
总之,现阶段,单晶技术要求石英坩埚朝着长寿命、大尺寸、低成本、高纯度及品质一致性的方向发展,这就要求其原材料高纯石英砂的颗粒分布均匀、纯度高、且一致性好。2024年8月9日,由中国粉体网主办的“2024(第二届)全国集成电路及光伏用高纯石英材料产业发展大会”将在江苏盐城召开,包头卓宇科技有限公司总经理、石英材料资深专家韩东博士将做《从单晶需求浅谈坩埚用石英砂的发展》的报告,届时,他将深度解读单晶技术发展对坩埚的要求、解决方案以及坩埚关键性能对于石英砂的需求。
参考来源:
韩东.单晶石英坩埚对石英砂原料的需求分析
孙红娟.坩埚用石英砂的工艺特征及高纯石英砂制备技术
王向东.光伏直拉单晶对于石英坩埚及石英砂的产业化需求
石星宇.连续拉晶下石英坩埚内气泡变化规律及晶棒的性能研究
(中国粉体网编辑整理/初末)
注:图片非商业用途,存在侵权告知删除!