营收113.57亿元!晶盛机电12英寸SiC衬底中试线落地


来源:中国粉体网   初末

[导读]  围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备。

中国粉体网讯  近日,晶盛机电发布2025年年报,公司2025年实现营收约113.57亿元,同比下降35.38%;实现归属于上市公司股东的净利润为8.85亿元,同比下降64.75%。


晶盛机电强调,受光伏行业周期性调整影响,公司光伏设备和材料收入及盈利同比下滑。受益于半导体行业持续发展及国产化进程加快,公司半导体业务持续发展。报告期内,公司集成电路与碳化硅相关的设备及材料收入18.50亿元,截至2025年12月31日,公司未完成集成电路及化合物半导体装备合同超37亿元。




据悉,浙江晶盛机电股份有限公司是国内领先的专注于“先进材料 先进装备”的高新技术企业,围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备,并延伸至化合物衬底材料领域。为半导体、光伏行业提供全球极具竞争力的高端装备和高品质服务。


半导体、光伏装备


在硅片制造端,晶盛机电公司已构建8-12英寸半导体大硅片核心装备的全产业链布局,产品质量达国际先进水平,国内市占率领先;同时,延伸至芯片制造与封装环节,成功布局8-12英寸硅常压外延、8-12英寸减压外延设备及减薄设备等,相关产品取得市场认可并实现批量销售。


来源:晶盛机电


在碳化硅装备领域,公司开发了碳化硅长晶及加工设备。基于产业链核心设备的国产化突破,在检测、离子注入、激活、氧化、减薄、退火等工艺环节积极布局产品体系,逐步实现产品产业化市场突破,公司6-8英寸碳化硅外延设备、氧化炉、激活炉实现国产替代,市占率行业领先。率先开发了12英寸碳化硅外延设备;在蓝宝石装备领域,公司开发了长晶、切片、研磨、抛光等系列设备,实现设备、工艺的高度融合,促进联合创新,提升公司蓝宝石材料领域的综合竞争力。


在新能源光伏装备领域,公司取得了行业认可的技术和规模双领先的地位,具备硅片端、电池端以及组件端全产业链核心装备供应能力,全自动单晶硅生长炉市占率国际领先。


半导体衬底材料


来源:晶盛机电


晶盛机电碳化硅衬底材料已实现6-8英寸衬底规模化量产,并实现12英寸碳化硅单晶生长技术突破,建设12英寸碳化硅衬底中试产线并小规模送样;蓝宝石材料业务取得了全球范围内的技术和规模双领先,已实现750kg、1000kg晶锭及4-8英寸衬底的规模化量产,并研发出12英寸衬底及310mm方形衬底。金刚石材料方面,公司依托自研MPCVD设备与工艺,建设了大尺寸金刚石生产线,聚焦面向芯片散热的金刚石热沉片及面向光学系统的窗口材料;氮化硅材料方面,公司首条氮化硅陶瓷产线已通线,在高热导率、高可靠性、高表面平整度等核心指标达到国际先进水平,逐步实现高端氮化硅基板的国产化替代,为中国新能源汽车和高端装备产业的发展筑牢材料基石。


半导体耗材及零部件


来源:晶盛机电


晶盛机电半导体用石英坩埚技术和规模国内领先,半导体大尺寸合成石英坩埚实现国产替代;光伏石英坩埚技术和规模全球领先;在此基础上,公司向高端石英制品领域高效延伸,相继开发出适用于半导体晶圆生长、热处理、刻蚀、清洗等关键制程的炉管类、舟类、环类、治具类、清洗类等核心耗材。伴随高端客户认证的持续突破与市场需求的快速增长,公司石英材料板块中半导体业务占比实现快速提升,进一步强化了在高端半导体石英材料领域的综合竞争力;在石墨制品领域,公司相继拓展了外延基座、碳化硅部件等产品;在金刚线领域,依托电镀金刚线技术自主研发和工艺创新,显著提升切割效率与产品稳定性,实现高品质钨丝金刚线的规模化量产。此外,大型真空腔体、大型高精密框架、精密传动主轴、磁流体、真空阀门等半导体精密零部件加工能力与量产规模处于国内前列。


参考来源:晶盛机电官网、年报


(中国粉体网编辑整理/初末)

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作者:初末

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