2025-12-31
来源：中铭瓷（浙江）纳米粉体技术有限公司
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中铭瓷(浙江)纳米粉体技术有限公司氧化钇喷涂粉主要应用于芯片制程中的特殊陶瓷部件、金属部件表面防护，同时通过各种喷涂工艺起到暴露在等离子体或腐蚀气体中防护作用，可以抵抗半导体材料加工设备中的腐蚀气体或等离子体所产生的化学和/或物理冲击。这些部件有等离子体或真空腔室(例如等离子体刻蚀器) 的部件，例如介电窗、腔壁、腔衬里、衬底支架、挡板、气体分布板、气体分布环、卡盘机构(例如静电卡盘)、聚焦环、喷嘴、紧固件、加热件、等离子体屏以及其它类似部件等。
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