在第三代半导体碳化硅(SiC)赛道上,0.1μm 的精度误差可能导致良品率暴跌 15%,单晶圆成本激增数千元!从晶体生长到晶圆加工,每一道工序都在考验设备的精度极限。
2025年8月20-21日在江苏·苏州由中国粉体网主办的第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会现场,复拓科学仪器(苏州)有限公司携三大杀手锏级产品震撼亮相,直击行业痛点:
✅ 膜厚测量仪 Premier 50:精准到 Å 级的膜厚把控,告别外延层厚度不均导致的器件失效
✅ 光学表面形貌仪:纳米级粗糙度检测,让微缺陷无处遁形
✅ 晶圆厚度测量系统:±1μm 的厚度测量精度,解决翘曲超差引发的封装难题
🔥 三大主推产品,如何颠覆行业认知?
1️⃣ 膜厚测量仪 Premier 50—— 外延层的「纳米级标尺」
SiC 器件性能高度依赖外延层质量,但传统测量方式误差高达 ±5%,导致批次性良品率不足 70%!Premier 50 凭借光谱椭偏 + 激光干涉双技术融合,实现:
2️⃣ 光学表面形貌仪 —— 缺陷检测的「纳米显微镜」
SiC 晶圆表面的微小凸起或凹陷,可能造成器件击穿电压下降 20%!复拓这款设备搭载白光干涉 + 共聚焦复合技术,做到:
3️⃣ 晶圆厚度测量系统 —— 厚度控制的「微米级卫士」
晶圆厚度不均会导致封装应力集中,引发芯片失效!该系统采用多光束共焦测量技术,实现:
📢 参会即享「三重硬核福利」,错过再等一年!
1️⃣ 零距离技术体验:现场操作三大设备,实测自家样品数据(限前 20 名预约)
2️⃣ 定制化解决方案:复拓专家团队一对一诊断产线精度问题,出具优化报告
3️⃣ 展会专属优惠:现场签约设备享折扣 + 年度校准服务
碳化硅器件成本每降低 10%,市场份额就能提升 20%!这是一场关乎企业未来 5 年竞争力的技术博弈。现在扫码联系会务组锁定席位!
会务组紧急通道
📞 段经理:13810445572(微信同号,备注「复拓」优先对接)
📩 邮箱:duanwanwan@cnpowder.com
📍 坐标:苏州·白金汉爵大酒店(8 月 20-21 日 9:00-17:00)