第三代半导体人注意!3 大「精度革命」神器即将空降苏州,解锁 SiC 生产降本增效密码!


来源:中国粉体网 粉享汇   粉享汇

[导读]  “当竞争对手还在为微米级误差焦头烂额,掌握纳米级精度的企业已提前锁定市场!” —— 复拓科学仪器首席技术官

在第三代半导体碳化硅(SiC)赛道上,0.1μm 的精度误差可能导致良品率暴跌 15%,单晶圆成本激增数千元!从晶体生长到晶圆加工,每一道工序都在考验设备的精度极限。



2025年8月20-21日江苏·苏州中国粉体网主办的第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会现场复拓科学仪器(苏州)有限公司三大杀手锏级产品震撼亮相,直击行业痛点:

✅ 膜厚测量仪 Premier 50:精准到 Å 级的膜厚把控,告别外延层厚度不均导致的器件失效


✅ 光学表面形貌仪:纳米级粗糙度检测,让微缺陷无处遁形


✅ 晶圆厚度测量系统:±1μm 的厚度测量精度,解决翘曲超差引发的封装难题

🔥 三大主推产品,如何颠覆行业认知?

1️⃣ 膜厚测量仪 Premier 50—— 外延层的「纳米级标尺」

SiC 器件性能高度依赖外延层质量,但传统测量方式误差高达 ±5%,导致批次性良品率不足 70%!Premier 50 凭借光谱椭偏 + 激光干涉双技术融合,实现:


  • 检测精度达 1Å:可分辨原子层厚度变化,确保外延层均匀性

  • 测量速度提升 3 倍:单晶圆检测仅需 30 秒,适配产线高速需求

  • 多膜层同步分析:一次测量获取 SiC/SiO₂/ 金属层等 5 层以上膜厚数据



2️⃣ 光学表面形貌仪 —— 缺陷检测的「纳米显微镜」

SiC 晶圆表面的微小凸起或凹陷,可能造成器件击穿电压下降 20%!复拓这款设备搭载白光干涉 + 共聚焦复合技术,做到:


  • 粗糙度检测下限 0.1nm:精准捕捉原子级台阶高度差

  • 3D 形貌实时重构:可视化呈现晶圆表面微观缺陷分布

  • AI 缺陷智能分类:自动识别划痕、颗粒污染等 12 类常见缺陷




3️⃣ 晶圆厚度测量系统 —— 厚度控制的「微米级卫士」

晶圆厚度不均会导致封装应力集中,引发芯片失效!该系统采用多光束共焦测量技术,实现:


  • ±1μm 厚度测量精度:全晶圆 2000 + 点位快速扫描

  • 翘曲度实时监测:同步输出 TTV(总厚度变化)、局部厚度等 6 项关键参数

  • 边缘盲区检测:攻克传统设备难以测量的晶圆边缘区域


📢 参会即享「三重硬核福利」,错过再等一年!

1️⃣ 零距离技术体验:现场操作三大设备,实测自家样品数据(限前 20 名预约)


2️⃣ 定制化解决方案:复拓专家团队一对一诊断产线精度问题,出具优化报告


3️⃣ 展会专属优惠:现场签约设备享折扣 + 年度校准服务


碳化硅器件成本每降低 10%,市场份额就能提升 20%!这是一场关乎企业未来 5 年竞争力的技术博弈。现在扫码联系会务组锁定席位!



会务组紧急通道

📞 段经理:13810445572(微信同号,备注「复拓」优先对接)

📩 邮箱:duanwanwan@cnpowder.com

📍 坐标:苏州·白金汉爵大酒店(8 月 20-21 日 9:00-17:00)

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