中国粉体网讯 半导体石英坩埚在拉制高纯度单晶硅棒时起到关键性作用,高纯度的单晶硅棒在经过切削后成为单晶硅片,因此半导体石英坩埚是下游硅片生产制造、晶圆加工及芯片生产不可或缺的辅助性耗材。
全球半导体石英坩埚市场集中度高,具有领先技术工艺优势、成本控制优势和下游硅片厂商认证优势的供应商竞争地位稳固,占据了整体市场的绝大部分份额。
目前全球主要市场份额集中于迈图科技(Momentive Technologies)、信越石英(Shin-Etsu Quartz)及SUMCO JSQ事业部。其中,迈图科技于2022年6月宣布收购Coorstek的石英坩埚产品线。国内本土半导体石英坩埚制造商包括盾源聚芯、锦州佑鑫、浙江美晶、中昱科技、欧晶科技、常州裕能等。
国内外半导体用石英坩埚实力企业榜单如下(企业排名不分先后):
迈图科技(Momentive Technologies)
美国迈图科技(Momentive Technologies)是熔融石英和陶瓷技术的世界领导者,可以大规模地提供高质量标准的定制材料。2020年作为独立公司从母公司中分离出来,公司提供从天然石英砂到合成石英砂等不同纯度等级的石英坩埚,并能根据客户要求定制产品,例如通过调整气泡含量多少来优化辐射传输和内表面透明层质量。公司提供从14到32英寸不同直径的半导体石英坩埚。
信越石英(Shin-Etsu Quartz)
日本信越石英(Shin-Etsu Quartz)由德国贺利氏和信越化学株式会社合资成立,成立于1972年,是一家石英玻璃制造商,其产品包括光学石英玻璃、石英坩埚、光纤合成用石英玻璃、石英玻璃制品及石英玻璃材料等,产品广泛应用在光学、光纤、液晶、半导体制造、太阳能电池制造等领域。信越石英可以制造24-36英寸半导体石英坩埚,产品面向日本、中国大陆、中国台湾、新加坡、美国及英国等地区。
SUMCO JSQ
SUMCO JSQ是日本SUMCO株式会社旗下的Japan Super Quartz事业部,前身最早成立于1983年。能够根据应用控制石英坩埚的透明层纯度和气泡水平,根据原料粉末的种类、各种熔融条件、各种精加工方法的组合生产各种优质石英坩埚,可提供24-36英寸半导体石英坩埚,在行业内技术能力强,主要向日本,中国及欧美国家供应半导体石英坩埚。
Coorstek
Coorstek是为航空航天、汽车、医疗、半导体等多行业提供先进材料和零部件的美国企业。在半导体石英坩埚领域中,Coorstek可提供24-36英寸半导体石英坩埚。产品主要面向日本,韩国、中国、欧洲及美洲市场。2022年6月,迈图科技宣布收购Coorstek公司的石英坩埚产品线。
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
盾源聚芯成立于2011年,致力于半导体级硅材料及部件,半导体级石英坩埚的研制、开发、生产。是国内少数具备半导体大尺寸石英坩埚量产的企业之一。公司石英坩埚产品主要分为半导体石英坩埚和太阳能石英坩埚,产品广泛应用于半导体和太阳能单晶硅棒的生产工艺中。
在半导体石英坩埚领域,公司的技术和产品已经比较成熟,且在持续迭代,产品已逐步获得环球晶圆、德国世创、SK Siltron、合晶科技、Okmetic等全球头部客户的认可和批量使用。盾源聚芯产品尺寸覆盖16-32英寸,可年产8万只半导体级石英坩埚。
锦州佑鑫石英科技有限公司
锦州佑鑫石英科技有限公司成立于2004年,公司专注于太阳能级和半导体级石英坩埚的研发及制造,现具备锦州和曲靖两个生产基地:锦州基地主要致力于半导体级高纯石英坩埚的研发及制造,可批量供应16-28英寸半导体石英坩埚,具备年产12万只石英坩埚的能力。
浙江美晶新材料股份有限公司
浙江美晶新材料股份有限公司创建于2017年,总部设立在浙江绍兴,多年来一直深耕于半导体和光伏石英制品材料领域。公司自创立起主要专注半导体石英坩埚的研发及生产,在半导体石英坩埚领域有长时间的技术沉淀,产品技术成熟、质量优异。公司可生产16-32英寸的半导体石英坩埚。公司的产品尺寸偏差、微气泡含量、杂质含量等指标均处于国内行业领先水平,具有国际竞争力。
公司可批量供应18-32英寸半导体石英坩埚,研发的32英寸半导体合成石英坩埚经中国电子材料行业协会鉴定,可以填补国内空白,实现国产替代。公司生产的高端半导体石英坩埚持续使用时间可达250小时,可实现坩埚厚度正负1mm精度,内表层纯度可达8N以上。半导体石英坩埚的客户包括中环领先、上海新昇、奕斯伟、有研硅、麦斯克、GlobalWafers、SYNASPIRE、WAFER WORKS等公司。
上饶中昱新材料科技有限公司
上饶中昱新材料科技有限公司立足于单晶硅材料生产链,提供太阳能/半导体石英坩埚、碳碳、塑料板及石墨产品的专业定制化服务,可批量供应16-28英寸半导体石英坩埚,目前公司可年产20万只单晶坩埚。
内蒙古欧晶科技股份有限公司
内蒙古欧晶科技股份有限公司主要产品为大尺寸太阳能级石英坩埚和半导体级石英坩埚,应用于单晶硅棒拉制的生产环节,目前,公司32英寸半导体级石英坩埚已实现进口替代,突破国产石英坩埚半导体应用的技术壁垒。2024年上半年,公司对重要熔制工序的各系统、设备、控制程序等环节分阶段完成了自动化、智能化改进,促进生产流程自动化、智能化,提升大尺寸坩埚的生产效率和品质稳定性、一致性,为后续实现“智能工厂”做准备。
常州裕能石英科技有限公司
常州裕能石英科技有限公司位于江苏省常州市,主要产品有太阳能级长寿命大直径坩埚,用于拉制太阳能硅单晶;半导体级石英坩埚,用于拉制半导体硅单晶,主要用于IC、电子芯片材料;光学坩埚,主要用于提炼稀土材料,制造光学玻璃。
参考来源:盾源聚芯招股说明书、美晶新材招股说明书、各公司官网
(中国粉体网编辑整理/初末)
注:图片非商业用途,存在侵权告知删除!