企业介绍
厦门韫茂科技有限公司由高端半导体装备团队于2018年在厦门集美创立，是一家以纳米级薄膜沉积工艺技术为核心的多领域全栈式薄膜沉积方案供应商，为客户提供全方位的技术解决方案以及最先进的纳米材料薄膜沉积装备，针对先进制造国产化的痛点，开发自主设备，实现多个国内装备产品首创设备，填补部分国家高端装备的空缺。2021年入选国家级高新技术企业，2022年入选厦门专精特新技术企业，并且获批福建省首台套高端装备。
部分产品介绍
该系统具有动态粉末流化机构、全自动温度控制、ALD前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制，以及现场RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱等设计选项。是先进能源材料、催化剂材料、新型纳米材料研究与应用的研发工具。
MPCVD
产品优势：
•能够实现全自动、自动化生产；
•创新的设计带来产品良率大幅提升；
•创新的高均匀性、偏压设计能够实现更高的金刚石薄膜质量；
•工业标准安全互锁、报警、EMO。
QBT-J 全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统
产品优势：
•热壁感应加热系统，温度场均匀；
•专利的多区进气系统，利于工艺参数调控；
•高温加载/卸载晶圆，升/降温速率快，提高生产效率；
•高生长速率，提高设备产能；
•优异的产品指标，提高器件性能；
•设备占地面积小。
QBT-P 双腔室超高真空磁控溅射系统
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