中国半导体研究的“拓荒者”:“大王先生”


来源:中国粉体网   初末

[导读]  王守武,中国半导体科学奠基人之一,半导体器件物理学家,中科院院士。

中国粉体网讯  王守武,中国半导体科学奠基人之一,半导体器件物理学家,中科院院士。他组织筹建了中国第一个半导体研究室和全国半导体测试中心;创建了中国科学院半导体研究所和微电子研究所;在研究与开拓中国半导体材料、半导体器件、光电子器件及大规模集成电路等方面开创了我国很多个“第一”,做出了重要贡献,被人们誉为我国半导体研究的“拓荒者”。


出身名门的“大王先生”


1919年3月15日,王守武出生于江苏苏州的书香世家。祖父王颂蔚是晚清历史学家、文学家,祖母王谢长达是创办振华女校的著名女权运动先驱,父亲王季同先生是最早在国际学术刊物上发表现代数学论文的中国学者,在机械工程和数学方面有很高的造诣。


在长辈的影响下,王家家族中涌现出一批科技精英。


大哥王守竞,和周培源、吴大猷是中国最早的3位理论物理博士,抗战时创办中央机器厂,是中国机械工业奠基人之一。


二哥王守融是我国精密机械与仪表仪器学科开拓者之一。


大姐王淑贞是我国妇产科学奠基人之一,与林巧稚齐名,有“南王北林”之誉。


二姐王明贞是中国最早的女物理学家之一,也是清华大学第一位女教授,其所著论文《关于布朗运动的理论Ⅱ》是世界经典。


弟弟王守觉,是著名半导体电子学家,中国科学院院士。为了和王守武区分,同事和学生亲切地称王守武为“大王先生”,称王守觉为“小王先生”。


努力救国,努力富国,努力强国


王守武自小受父亲的影响很大,父亲王季同作为最早在国际学术刊物上发表现代数学论文的中国学者,其机械工程和数学方面的造诣很高。父亲曾为他讲述如何求圆周率π,如何利用手摇计算机计算自然对数的底e ,如何绕制变压器、连接电路、制作电磁铁等。


在那个懵懂的童年,科学的种子正悄然深埋进王守武的心中。但那个时候,也正是举国动荡、时局纷争,国家存亡和民族大义不时地叩敲着他幼小的心灵。


1930年,年仅11岁的王守武在《民智》报上发表文章:“诸位朋友,你们要救中国。你们要做中国的人。一定要大家尽责,大家负责。愿大家努力读书,努力前进。还愿将来努力救国,努力富国,努力强国。”


1950年1月,在美国普渡大学任教的王守武受留美科协的感召决定回国,为刚解放不久的新中国做一点贡献。然而这一年朝鲜战争爆发,杜鲁门当局对中国留学生回国百般阻挠,王守武只得以回乡探望年事已高的寡母为由,通过印度驻美使馆协助由香港入深圳,曲线回国。


1950年,王守武进入中国科学院应用物理研究所工作,参与一项“为在抗美援朝前线的志愿军运输队设计一种特殊的车灯和路标”的任务,使部队可以在夜间行车而不被发现。1951年5月,他接受了设计太阳灶的任务,以解决藏民生活燃料稀缺的问题,设计制作成功后,用它可以在15分钟内把一壶水烧开。这种太阳灶,至今还在青藏高原发挥它的作用。而后他教授《理论力学》,并开展了氧化亚铜整流器等研究。


踏上开拓半导体科学事业的新征程


此后,王守武开始领导应用物理所电学组开展半导体研究。他很快意识到晶体管发明带来的信息技术变化的重大意义,并在电学组1956年工作计划中指出:“半导体放大器的进一步发展将全面地革新电子学设备的面貌,在国民经济上的意义极为重大。”


在我国制定的“1956—1967年国家十二年科学技术发展远景规划”中,半导体科学技术被中科院列为四大紧急措施之一。中科院半导体研究室随后成立,由王守武担任主任。1957年,王守武亲手设计了我国第一台拉制半导体锗材料的单晶炉,并于11月领导拉制成功我国首根锗单晶。


1958年,王守武创建了我国最早的一家生产晶体管的工厂——中国科学院109工厂,从事锗高频晶体管的批量生产。1960年,王守武又受命筹建中国科学院半导体研究所,并担任副所长,负责全所的科研业务管理和开拓分支学科等工作。


1962年,美国制成砷化镓半导体激光器,应用前景广泛。


1963年,王守武组建了半导体激光器研究室,先后领导并参与了中国第一台半导体激光器的研制,实现半导体激光器的连续激射,并开展半导体负阻激光器以及激光应用的研究工作,为我国在这个领域的技术进步奠定了基础。


1978年,王守武受命兼任中科院109厂厂长,负责领导4000位MOS随机存储器大规模集成电路的研究工作。这是一项难度甚高的研究工作,而且于科技、国防、经济发展意义重大。王守武立刻一头扎进实验室中,对四十道工艺进行设计、创新。他要求各工序的负责人,明确工作流程,严格执行,力求工艺质量的稳定。由于实验条件的落后,他也对实验所用的仪器设备和基础材料进行检修、改造和测试,使之稳定可靠,达到所需的质量标准。


1979年9月,经过王守武和同事们的不懈努力,大规模集成电路样品的成品率提高到了20%-40%,是当时国内大规模集成电路研制中的最高水平。此后,他继续参与领导了集成电路大生产试验,从大规模集成电路实验室制备工艺探索,到工业生产中试线的安装、调试和生产,寒来暑往十多个春秋。


科研精神永远传承


王守武先生渊博的学识、超人的动手能力、谦逊的性格得到了国内外广大学者的尊重。另外,他用心培养科技队伍,先后在清华大学、北京大学、中国科学技术大学、复旦大学等多所高校任教,为祖国的半导体领域、微电子领域培养了一批又一批的人才,很多他的学生已成为行业领域的栋梁之才。


临终时,节约简朴了一辈子的王守武“大大地花了一笔钱”:捐出所有存款,用设立王守武奖学金,专门奖励中国科学院微电子研究所和半导体所优秀的研究生。2020年,王守武家人继续捐赠,设立王守武科教发展基金,主要用于支持中国科学院大学集成电路学院科教融合事业发展。


作为我国半导体科学技术事业的重要开拓者和奠基人之一,王守武在几十年的科研生涯中,始终把国家的需要放在第一位,把发展中国半导体科学事业视为己任,兢兢业业为之奋斗了一生。他用正直的品德、严谨的作风以及对科研事业无比的热爱,激励着年轻人奋斗拼搏,也鼓舞着后来人沿着他的足迹大步前行。


参考来源:

中国科学院半导体研究所.拳拳报国心 一生执着为创“芯”

全景科学家.王守武院士:执着创“芯”六十年,研制出中国半导体的一系列第一

科普苏州.他是王鏊后裔,制成我国第一根锗单晶…

中科院之声.我国半导体研究的“拓荒者”——王守武院士诞辰100周年丨科学史 

中国科学报:王守武:为中国半导体奠基的“大王先生”


(中国粉体网编辑整理/初末)

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作者:初末

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