用于大功率LED的陶瓷基板有哪些?


来源:中国粉体网   空青

[导读]  陶瓷基板 (又称陶瓷电路板) 具有热导率高、耐热性好、热膨胀系数低、机械强度高、绝缘性好、耐腐蚀、抗辐射等特点,在电子器件封装中得到广泛应用。

近年来,LED 越来越多地被应用于普通照明,LED产业呈现爆发式增长并向大功率、高集成、密集化、小型化方向发展,LED 发光效率和使用寿命会随结温的增加而下降,所以散热问题成为大功率LED进一步发展的瓶颈,受到广泛的关注。


陶瓷基板,图片来源:中电科四十三所


大功率LED热传导主要途径是:PN结——外延层——封装基板——外壳——空气,所以封装基板的选择对LED散热至关重要。陶瓷基板 (又称陶瓷电路板) 具有热导率高、耐热性好、热膨胀系数低、机械强度高、绝缘性好、耐腐蚀、抗辐射等特点,在电子器件封装中得到广泛应用。


陶瓷基板的优秀性能


陶瓷基板材料常见的主要有Al2O3、AIN、SiC、BN、BeO、Si3N4等,与其他基板材料相比,陶瓷基板在机械性质、电学性质、热学性质具有以下特点:

(1)机械性能。机械强度高,能用作为支持构件;加工性好,尺寸精度高;表面光滑,无微裂纹、弯曲等。

(2)热学性质。导热系数大,热膨胀系数与Si和GaAs等芯片材料相匹配,耐热性能良好。

(3)电学性质。介电常数低,介电损耗小,绝缘电阻及绝缘破坏电高,在高温、高湿度条件下性能稳定,可靠性高。

(4)其他性质。化学稳定性好,无吸湿性;耐油、耐化学药品;无毒、无公害、α射线放出量小;晶体结构稳定,在使用温度范围内不易发生变化;原材料资源丰富。


常用的大功率LED陶瓷基板材料分类


陶瓷基板是以电子陶瓷为基底形成一个支撑底座的片状材料,如今已成为大功率 LED 的结构材料。


1、氧化铝(Al2O3)基板


氧化铝陶瓷是目前应用最广泛的陶瓷之一,不仅机械、热、电性能较好,而且化学稳定性高;另外,氧化铝原料来源丰富,工艺成熟,价格较低,还可以按照要求加工成各种不同形状,因此在大功率 LED 领域被大量应用。使用氧化铝陶瓷基板的LED最高温度低于使用玻璃基板的LED,表明应用氧化铝陶瓷基板LED综合性能较好。但由于其热导率相对较低 (99% 氧化铝热导率约为 30 W/(m·K),热膨胀系数较高,一般应用在汽车电子、半导体照明、电气设备等领域。


2、氮化铝(AIN)基板


AlN陶瓷基板具有超高的导热率,是氧化铝陶瓷的8-10倍,实际生产的热导率也可高达 200 W/(m·K),有利于LED 中热量散发,提高 LED 性能。


图片来源:中电科四十三所


AlN陶瓷基板不仅有高热导率,其绝缘性也很好,应用于大功率LED时不需要绝缘处理,简化了工艺。氮化铝被公认为最具有发展潜力的大功率LED基板材料,但氮化铝没有天然形成的,需要人工制造,高成本的原料和工艺使得氮化铝陶瓷价格很高,这是制约氮化铝基板发展的主要问题。如果能大幅度降低原料成本、实现低温下致密化烧结并解决金属化问题,氮化铝陶瓷基板将会在大功率 LED 领域大面积应用指日可待。


3、氧化铍 (BeO) 基板


BeO 材料密度低,热导率高,具有良好的综合性能。但是,BeO 材料也存在一些不足:(1)BeO 陶瓷的热导率不稳定,其热导率随着温度的升高而降低;(2)BeO 粉体具有毒性,对环境容易产生污染;(3)BeO 陶瓷抗腐蚀性很强,但是能被 KOH、NaOH、含酸性氧化物的玻璃以及碱金属碳酸盐溶液等腐蚀,制备条件和工艺需严格把关。



但在某些大功率、高频半导体器件以及航空电子设备和卫星通讯中,为了追求高导热和理想高频特性,仍在采用 BeO 陶瓷基片。


4、碳化硅(SiC)基板


碳化硅单晶的热导率在室温可高达 270 W/(m·K),是良好的导热材料,而且其热膨胀系数与常用的LED 沉底材料蓝宝石的热膨胀系数接近,还具备高弹性模量和相对低密度的优点,SiC 的莫氏硬度为 9.75,机械强度高。综述以上优点,SiC 基板适合做大功率 LED 基板材料。




但是SiC 基板热导率在高温时会随着温度的升高明显下降,严重影响产品性能。另外,不良的绝缘耐压性也阻碍了其在 LED 领域中的发展;碳化硅的介电常数较高,会导致信号延迟,影响产品的可靠性。



综上,碳化硅陶瓷基板性能较好,降低成本、完善制备工艺是今后研究的重点方向。


5、氮化硅 ( Si3N4)基板


与其他陶瓷基板材料相比,氮化硅具有一系列独特的优势。Si3N4属于六方晶系,有α、β和γ三种晶相,其中α-Si3N4单晶体沿a轴和c轴的理论热导率分别为105W/m·K、225W/m·K;β-Si3N4单晶体沿a轴和c轴方向的理论热导率分别是170W/m·K、450W/m·K。同时氮化硅具有高强度、高硬度、高电阻率、良好的抗热震性、低介电损耗和低膨胀系数等特点,是一种理想的散热、封装和基板材料。制成的陶瓷基板具有非常好的理化性能、电气性能和机械性能;具有高导热系数,高电流载荷,容易满足第三代功率半导体器件的散热需求;并且热膨胀系数与大多数半导体材料匹配,因而使其器件的可靠性更优异。


总结与发展


散热是功率型电子元器件发展过程中的关键技术问题。鉴于大功率、小尺寸、轻型化已经成为未来功率型电子元器件封装的发展趋势,陶瓷基板除了具有优异的导热特性之外,还具备较好的绝缘、耐热、耐压能力及与芯片良好的热匹配性能,已成为中、高端功率型电子元器件封装散热之首选。陶瓷基板在大功率 LED 应用还有提高,复合基板能充分运用陶瓷的高导热性和绝缘性,综合了各种材料的优点,是未来大功率 LED 基板发展的方向。


参考来源:

邝海:大功率LED中常用陶瓷基板研究

电子元器件与信息技术:最适合LED的散热基板——氮化铝陶瓷基板

秦典成等:陶瓷基板表面金属化研究现状与发展趋势


(中国粉体网编辑整理/空青)

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作者:空青

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