由中国科学院物理研究所主办的“微纳米加工技术讲习班”于日前在该所开学。除中科院系统的19个研究所以及中国科技大学、国家纳米中心外,北京大学、清华大学、复旦大学、中山大学、吉林大学等24所高校和4个部属研究所的350多名科研人员和研究生参加了培训。
讲习班聘请了英国卢瑟福国家实验室微结构中心主任、首席科学家崔铮主讲,课程讲授关于微纳米尺度加工技术的基础知识和应用,同时物理所微加工实验室的顾长志研究员、半导体所的杨富华研究员、微电子所的刘明研究员和国家纳米中心的吴晓春研究员还就微纳米加工技术在凝聚态物理、半导体光电子和微纳电子器件、化学材料的合成等研究领域作了前沿专题讲座,并组织参观了物理所微加工实验室。
微纳米技术是当今高技术发展的重要领域之一。微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。实现功能结构与器件微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。近年来,我国在微纳米技术方面发展迅速,一些微纳米加工技术平台已经或正在国内高校与科研单位建立起来,与微纳米相关的新兴工业也已开始蓬勃发展。
讲习班聘请了英国卢瑟福国家实验室微结构中心主任、首席科学家崔铮主讲,课程讲授关于微纳米尺度加工技术的基础知识和应用,同时物理所微加工实验室的顾长志研究员、半导体所的杨富华研究员、微电子所的刘明研究员和国家纳米中心的吴晓春研究员还就微纳米加工技术在凝聚态物理、半导体光电子和微纳电子器件、化学材料的合成等研究领域作了前沿专题讲座,并组织参观了物理所微加工实验室。
微纳米技术是当今高技术发展的重要领域之一。微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。实现功能结构与器件微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。近年来,我国在微纳米技术方面发展迅速,一些微纳米加工技术平台已经或正在国内高校与科研单位建立起来,与微纳米相关的新兴工业也已开始蓬勃发展。