“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目启动


来源:上海市计量测试研究院

中国粉体网讯  2015年3月20日,国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目首次工作会议在上海市计量测试技术研究院举行。国家质检总局科技司谢正文副处长主持会议,清华大学金国藩院士、同济大学李同保院士、上海理工大学庄松林院士,国家质检总局科技司王越薇副司长、市质量技监局陆敏总工程师、上海市科学技术委员会过浩敏处长等专家和领导出席会议。

  “跨尺度微纳米测量仪的开发与应用”项目以我国近年多项创新技术及上海市计测院博士后科研成果为基础,突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈,旨在攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅的纳米量值溯源等关键技术,研制用于计量、工业生产、产品检测中微形貌和几何尺寸测量的微纳米测量仪,并构建跨尺度、高精度微纳米测量与研发平台,为我国国防、航空航天、半导体制造业、微机电产业、大气污染物防治等领域提供有效的纳米计量技术的支持和保障,提升我国高新技术产业中微纳米尺寸定量化测量的技术水平。

  在国家质量监督检验总局的组织和指导下,项目经过近两年半时间的筹备和酝酿,于2014年10月获得国家科技部批准立项。项目的牵头单位为上海计测工程设备监理有限公司,第一技术支撑单位为上海市计量测试技术研究院,16家参加单位涉及清华大学、上海交通大学、复旦大学、同济大学等国内顶级高校,以及中国工程物理研究院、国家纳米中心等国内顶尖研究机构。该项目总经费7681万元,其中中央财政专项经费投入3731万元,项目截止日期为2018年10月。项目将形成年产50台生产能力,累计销售收入5000万元。

项目研究过程中,将以产业需求为牵引,以实际应用为导向,注重基于国际先进技术基础上的集成创新和工程化、产业化开发,着力挖掘科研成果转化的潜力,提高我国微纳米测量科学仪器设备的自主创新能力和自我装备水平,并促进产、学、研、用的结合。项目完成后,将形成具有完全自主知识产权的仪器产品、附件、服务、标准等成果,填补国内空白,挑战国外仪器在相关领域的权威地位,促进纳米科技与经济紧密结合,科技创新与产业发展紧密融合,提升国家在纳米制造、微电子、新型材料、超精密加工制造等领域的地位与话语权。

  在首次工作会议上,项目总体组、技术专家组、项目监理组、用户委员会和项目管理办公室宣布成立。其中,项目负责人由上海市计量测试技术研究院邵力教授级高级工程师担任,技术负责人由同济大学李同保院士担任,项目专家组组长由清华大学金国藩院士担任,项目监理组组长由上海理工大学庄松林院士担任。会议报告了项目及任务实施方案,介绍了项目管理办法,并由专家现场进行了技术点评和项目管理点评。

  会上,上海市质量技术监督局总工程师陆敏要求上海市计量测试技术研究院勇于创新,集中力量确保项目顺利实施,并通过科研项目促进科研管理水平和能力的提高。

  上海市科委基地建设与管理处过浩敏处长感谢国家质检总局对项目的支持,肯定了重大专项对上海市创建具有国际影响力的科创中心的重要意义,并表示上海市科委将尽全力做好项目实施的地方配套服务工作。

  国家质检总局科技司王越薇副司长对项目推进提出了具体工作要求。她要求项目所有单位本着为国家产业发展负责的精神,对项目予以高度重视;牵头单位要围绕总体目标,做细做实项目推进计划,项目各参与单位必须按时保质完成分目标,确保项目顺利推进。她要求加强项目的过程管理,制定并落实各项管理制度,对项目推进中出现的问题,要协调解决,必要时召开专题会议,并且做好包括基础数据、过程记录在内的档案管理。她还要求加强项目的财务管理,牵头单位和各参与单位都要重视财务管理,尤其要提高国家级重大项目的财务管理水平,确保项目经费的使用符合财务管理要求。最后,王越薇副司长还代表国家质检总局科技司表示,将尽全力做好项目实施单位与国家科技部的桥梁工作。

  首次工作会议后,即召开了项目第一次专家咨询讨论会。
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