中国粉体网1月16日讯 受到甲虫和树蛙能将足部保持附着在水下树叶上的启发,新加坡国立大学石墨烯研究中心研究人员Gao Libo 等开发出了一种新的方法,能够让石墨烯在硅晶圆衬底上进行生长或转移。这一技术可以帮助石墨烯在光子学和电子学领域得到应用,如光电调制器、晶体管、片上生物传感器等。
多数半导体器件需要在硬质衬底如硅或石英上进行操作,因此,在硅晶圆上生长石墨烯薄膜并找到转移的方法,对于许多光电应用而言非常必要。
研究人员在涂有铜催化剂层的硅衬底上生长石墨烯。在生长完毕之后,将铜刻蚀掉,而石墨烯则被一些毛细管桥固定在原位,这些毛细管桥是由一些泡泡结构形成的,类似于甲虫和树蛙附着在水下树叶上的足部周围的气泡。这些毛细管桥帮助石墨烯附着在硅表面,防止在刻蚀铜催化剂的过程中剥离。
多数半导体器件需要在硬质衬底如硅或石英上进行操作,因此,在硅晶圆上生长石墨烯薄膜并找到转移的方法,对于许多光电应用而言非常必要。
研究人员在涂有铜催化剂层的硅衬底上生长石墨烯。在生长完毕之后,将铜刻蚀掉,而石墨烯则被一些毛细管桥固定在原位,这些毛细管桥是由一些泡泡结构形成的,类似于甲虫和树蛙附着在水下树叶上的足部周围的气泡。这些毛细管桥帮助石墨烯附着在硅表面,防止在刻蚀铜催化剂的过程中剥离。