中国粉体网讯 甬江实验室是浙江省政府批准设立的专注于新材料及相关领域研究的具有独立事业单位法人资格的新型科研机构，于2021年5月19 日正式成立。实验室围绕电子信息材料与器件、绿色化工技术、新能源材料、功能性结构材料、智能制造与高端装备、交叉与前沿技术等研究领域建设若干研究中心。
甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台是甬江实验室布局电子信息材料与器件领域创立的重大支撑，重点围绕高速通讯、元宇宙、自动驾驶和智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术，以“微纳光学”和“先进封装”为特色，兼顾硅基MEMS、光芯片、生物芯片等方向，聚焦“光学器件”制备工艺能力，专注“多材料体系”异构集成先进封装工艺能力，开创合作研究、委托开发、资源共享等生态服务模式。
新型显示与感知中心
甬江实验室新型显示与感知研究中心团队，于2022年12月正式启动高精度人眼模拟设备项目，包括仿生眼结构设计、高性能材料开发、眼动控制算法开发、眼动AI模型搭建。经过八个月的紧张研发，首台原型机在2023年8月诞生，这也是新型显示与感知中心第一台自研设备。
据悉，甬江实验室这套VST（Video See-Through，视频透视）测试法已在虚拟现实与元宇宙产业联盟XRMA立项，而“面壁者”也广受业界青睐，已有二十多家企业和机构已发来意向订单。此外，甬江实验室还与温州医科大学合作通过利用人眼脱敏数据、公开数据库、真人采集眼图等数据资源，运用多维数据融合、数字孪生、AI模型、PCCR自动标注等关键使能技术，打造高精度精细化的虚拟数据集，实现数据采集成本降低80%以上，人力投入降低75%以上，极大地提高了标注效率，单位时间内数据标注量增加250倍。
信息材料与微纳器件制备平台
以AI为代表的必争的战略高地，而高能级微纳平台是光电材料与器件领域方向的重要支撑。信息材料与微纳器件制备平台（以下简称“微纳平台”）是甬江实验室迄今为止投入最大的平台。平台聚焦高速通信、元宇宙、自动驾驶及智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术，致力于建立一个立足长三角、辐射全国的集光电芯片材料生长、器件制造、封装测试、可靠性验证等为一体的具有先进研发和产业验证能力的枢纽型创新服务共享平台。
据微纳平台负责人钟飞介绍，在调研了国内外大量科研和产业需求后，微纳平台以“微纳光学”与“异质异构集成”为核心特色，同时涵盖硅基MEMS、光芯片、生物芯片等多个方向，重点发展光学器件制备和多材料体系的异构集成先进封装工艺技术，建设了一条6英寸研发线和一条8英寸验证线，布局了近两百套高精尖设备。
热场材料创新中心
2023年10月热场材料创新中心正式揭牌。热场材料创新中心是浙江六方半导体科技有限公司加盟甬江实验室后建立的协同创新中心, 也是甬江实验室构建创新共同体的典型案例。
中心专注于热场材料的基础研究及其在半导体、航空航天等领域的应用开发。采用CVD技术生产碳化硅、碳化钽等高性能涂层材料，并不断推进技术创新与应用场景扩展，促进科研成果与产业需求的深度融合。作为“加盟”企业，浙江六方半导体科技有限公司专注于热场材料的基础研究及其在半导体、航空航天等领域的应用开发。当前，中心正进一步强化高纯碳化硅、碳化钽等先进陶瓷涂层材料的基础研究与产业化应用，致力于为不同领域提供高纯度、高性能的涂层解决方案。
无机氧化硅可控制备中心
甬江实验室无机氧化硅材料可控制备研究中心的重点，正是研发用于芯片化学机械抛光中的超高纯纳米氧化硅磨料的制备。目前，中心超高纯纳米氧化硅磨料颗粒尺度达到20-120纳米级别，颗粒形貌有球形、弯曲、花生状、链状等，颗粒表面性质、颗粒密度和硬度等多个性质都具备可调控的工艺，实现了单釜规模为立方米级别的连续化、稳定性生产，且制备的纳米粒子的纯度可以实现金属杂质小于400ppb，解决了CMP技术中的“卡脖子”材料，打破了国外的长期垄断。
在应用领域方面，目前已经突破了28-90纳米逻辑芯片加工中多晶硅的化学机械抛光的应用，并且实现了在部分头部企业的验证。在先进制程化学机械抛光方面，实现了19纳米制程存储器的氧化硅化学机械抛光验证，满足了企业先进制程存储器的加工要求。
来源：甬江实验室、六方半导体
（中国粉体网编辑整理/空青）
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