中国粉体网讯 在半导体与光学领域中，部分工艺需要使用静电卡盘（ESC）固定衬底来完成，静电卡盘通常处于下腔室位置。同时静电卡盘也可以实现快速加热以及加载射频功率调节等离子体状态的作用。此外静电卡盘在工艺过程中还具有高稳定性、低颗粒性、控温良好等性能。因此，静电卡盘在半导体、光学领域中受到越来越广泛的应用。随着全球半导体行业的蓬勃发展，这一关键零部件的市场格局与技术竞争日益激烈。
1美、日市场垄断
据QY Research数据，全球静电卡盘的核心厂商包括Applied Materials、Lam Research、SHINKO和TOTO。前四大厂商占据了约92%的份额，其中最大的生产商为Applied Materials，份额占比为44%。
美国：两大设备巨头，产品垂直
美国应用材料公司（Applied Materials，AMAT）成立于1967年，是一家全球领先的半导体设备制造商，行业内的“半导体设备超市”，半导体业务几乎可贯穿整个半导体工艺制程，半导体产品包含薄膜沉积（CVD、PVD 等）、离子注入、刻蚀、快速热处理、化学机械平整（CMP）、测量检测等设备。2024年半导体业务营收同比增长5.3%。
其中，Centris® Sym3® Y是当前AMAT最先进的刻蚀系统。该设备高气导室架构与脉冲射频源技术相结合、快速高效排出刻蚀副产物，实现出色的形貌控制、极高的刻蚀选择比，允许多层膜的依次刻蚀、新型专有涂层保护腔室关键元件，减少制造缺陷、静电吸盘减少整片晶圆上晶粒差异、主动边缘控制提升晶圆极端边缘良率 。
泛林集团（Lam Research，LAM）成立于1980年，主营半导体制造用刻蚀设备、薄膜沉积设备以及清洗等设备。其中，LAM在刻蚀设备和CVD薄膜沉积设备市场占据领先地位，2024年半导体业务营收同比增长13.2%。
日本军团：材料工艺追求极致
日本新光电机（SHINKO）主要产品是半导体封装基板，但其静电卡盘在蚀刻设备的市场占有率很高。官网显示，SHINKO生产的静电吸盘采用材质是氧化铝陶瓷，最大尺寸在300mm，工作温度在-20~+200℃，广泛应用于刻蚀和CVD设备中。
SHINKO产品，来源：SHINKO官网
日本碍子株式会社（NGK Insulators）成立于1919年，其主要以氮化铝陶瓷为主，发挥材料的特性，将半导体制造设备上需要使用的静电吸盘、加热器、各种零部件产品化。
日本特殊陶业（NTK CERATEC）是日本特殊陶业株式会社（Niterra）的全资子公司，该企业具备从材料开发到精加工的一体化工艺。一直为从工业机械零件到半导体和液晶制造设备零件的所有产品提供高精度、高质量的陶瓷元件。
TOTO成立于1917年，是全球第三大陶瓷卫浴产品制造商。近年来，TOTO将其在精密陶瓷和静电技术方面的经验应用于半导体制造设备，特别是静电吸盘的研发与生产。TOTO的静电吸盘采用高纯度陶瓷材料制成，具有优异的耐热性、耐腐蚀性和绝缘性能，这种材料不仅能够承受等离子体蚀刻机2000℃的高温和化学腐蚀，还能保持纳米级的平整度。此外，TOTO的静电吸盘平整度误差控制在1微米以内，相当于头发丝的1/80，这使得其产品在半导体制造中具有显著的竞争力。
目前来看，通用型零部件市场主要是由日本供应商主导。日本企业静电卡盘通常采用单独售卖的销售模式，而美国的静电卡盘企业通常都是综合性的半导体设备商，他们往往通过将静电卡盘与所生产的 PVD、CVD 等半导体设备整机配套售卖。由于静电吸盘属于消耗品，使用寿命一般不超过两年，因此静电吸盘具有较大的替换市场。即使是设备巨头，同样也需要从日本企业采购大量静电吸盘满足全新设备及备件需求。
2 中、韩国产替代突破
AEGISCO成立于2008年，公司从显示领域的静电卡盘开始做起，在韩国首次成功实现了用于显示器的基板吸附卡盘国产化和量产化，目前已覆盖半导体领域。公司产品包含陶瓷静电吸盘、聚合物静电吸盘、透明静电吸盘、橡胶静电吸盘、橡胶隔膜等。其中静电卡盘是AEGISCO自主专利制造产品，使用高纯度材料制造，具有出色的耐压特性。此外，该公司于2017~2018年推出J-R陶瓷静电卡盘，2021~2022年推出大型ESC。
MiCo Ceramics成立于2020年，是将半导体设备零件业务部门从Mico分离出来而成立的公司。公司基于氮化铝、氧化铝和氧化钇等先进陶瓷材料为客户提供用于半导体行业应用的零部件，从用于半导体制造工艺的氮化铝加热器、静电卡盘等功能产品到一般零部件。MiCo Ceramics使用多层陶瓷和热压机的制造技术开发出的静电卡盘，通过内置多层电极和多区加热器提供最佳的晶圆温度控制。2004年已成功开发出200mm陶瓷静电卡盘。
多层陶瓷静电卡盘，来源：MiCo Ceramics
WONIK QnC成立于1983年，是专门制造半导体及显示器生产过程中所需的石英类，陶瓷类零部件的韩国上市企业。公司陶瓷事业部生产各种材料（Al2O3、Y2O3、YAG、SiC、AlN、Si3N4、ZrO2、BN），并内部化生产功能陶瓷部件（静电卡盘ESC、加热器、晶圆台），为半导体和汽车领域所需的精密元件提供集成解决方案。
除此之外，LK ENGINEERING是韩国第一家开展ESC维修业务的公司，该企业高附加值产品约占销售额的40%，同时也将其开发成高纯度ESC，使其导热性与半导体公司所需的材料相匹配；KSTE INC.是韩国领先的专业从事静电吸盘生产以及相关的设备及工艺开发、集成与安装业务的企业，掌握了静电吸盘的设计、生产和销售领域的众多专有技术和业务信息。不久之前，江丰电子与 KSTE INC.签署了《关于静电吸盘项目之合作框架协议》，江丰电子拟向KSTE引进静电吸盘生产技术及采购静电吸盘生产线。
国内静电卡盘市场处于起步阶段，目前已有包括华卓精科、海拓创新、中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产工作，并取得进展。其中华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产。
静电吸盘是半导体制造链条中不可或缺的部分，也是制造门槛较高的环节，目前，在美日企业垄断的格局下，材料创新与国产替代将成为破局关键。
来源：
芯联资本：半导体核心零部件“静电卡盘“行业研究
光大证券研究所：静电卡盘是半导体关键零部件，技术壁垒高
解码工作室：静电卡盘国产化，半导体零部件的艰难突围
各企业官网
（中国粉体网编辑整理/空青）
注：图片非商业用途，存在侵权告知删除
