中国粉体网讯 石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，包括具有极低的热膨胀系数、优异的耐温性、良好的化学稳定性、优良的电绝缘性、低而稳定的超声延迟性、最佳紫外、可见光及近红外光谱透过率，并拥有高于普通玻璃的机械性能，利用各项优点可以制作成石英玻璃锭材、管材、棒材、板材、坩埚、各种器皿和器件以及石英玻璃纤维和织物等产品，这些产品被广泛应用于需要提供高温、洁净、耐蚀、透光、滤波等各种特定的高新产品生产工艺环境，如半导体、光通讯、光学、光伏、电光源、航空航天、核能激光等行业。
在半导体集成电路制造工艺过程中，石英坩埚、石英管、石英舟、石英支架等各种配件是难以替代的关键材料和制品，涉及半导体晶圆制造的大部分流程，对半导体晶圆厂来讲，石英制品参与生产工序长，影响范围广，且石英制品必须要几乎完整参与其产品的生产过程才能确定是否通过验收，石英制品一旦出现质量问题，直接影响其产品的合格率，故石英制品对于下游企业至关重要。
半导体用石英部件一般可分为高温区器件和低温区器件。其中，高温工艺用石英部件由于需要在千度以上连续工作数小时，所以需要其具有耐高温、热稳定性好、不易变形等性能。另外，还需具备耐腐蚀、透光性好、杂质含量低等性能。
半导体芯片生产加工流程中用到的石英制品
石英制品作为半导体设备的零部件和芯片生产工艺过程中的耗材，其应用场景紧密结合半导体生产工艺过程。半导体工艺制程中，需要用到大量的石英制品，主要应用于光刻、刻蚀、清洗、封装、扩散、氧化等工艺。石英制品应用在半导体行业的产品主要包括石英舟、石英法兰、石英玻璃坩埚、石英玻璃基片、石英钟罩、石英管道、石英环等。
主要石英制品在半导体制程中的应用
随着国内半导体产业提速发展，用于半导体加工用的石英产品市场被越来越多的人们看好和关注，石英制造的企业也增加了很多，但是高品质的石英制造商数量在国内并不多，产能主要分布在北京、沈阳、杭州、上海和湖州地区。未来，随着石英市场行业规模的不断扩大，将会吸引更多的企业进入市场。
2025年4月23-24日，由中国粉体网、中粉会展主办的“2025全国半导体行业用高纯石英材料产业发展大会”将在江苏南京召开，届时来自中国建筑材料科学研究总院有限公司的教授级高工聂兰舰，将做题为《高纯石英材料制品在半导体制程中的应用》的报告。该报告将深入探讨高纯石英材料制品在半导体制造中的核心应用价值。
聂兰舰，教授级高工，现任建材工业石英玻璃重点实验室主任及石英新材料研究所副所长。自2011年工作以来，一直从事高性能石英玻璃材料的制备技术、装备与标准化等研究工作。先后作为项目负责人主持国家级科研项目10项，重点参与国家级科研项目十余项，研制出惯导用高均匀石英玻璃、大尺寸零膨胀石英玻璃、全合成石英管、无氯抗辐射石英玻璃、间接法合成高纯无水石英玻璃和掺杂功能石英玻璃等多项石英玻璃新材料，为航天、强激光、半导体和精密光学等领域提供了关键基础材料，获授权专利31件（其中授权发明22件）、发表论文20余篇、参与论著2部、制修订标准20余项，荣获科技奖7项。
参考来源：中国半导体用石英材料市场研究分析报告（2024~2027），粉体大数据研究
（中国粉体网编辑整理/平安）
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