珠海欧美克仪器有限公司

中国半导体光刻机探索的先行者对先进陶瓷的需求

——访上海微电子装备股份有限公司国产化项目经理吕辰培

中国粉体网讯  在半导体产业链中,以先进陶瓷为代表的关键零部件是支撑半导体设备实现先进制造的重要载体,也是目前国产化替代的重要领域。同时,以碳化硅为代表的第三代半导体材料已展现出极其重要的战略性应用价值,其中碳化硅单晶制备占据价值链最核心位置。4月25日,由中国粉体网主办的“第三届半导体行业用陶瓷材料技术研讨会暨第三代半导体SiC晶体生长技术交流会【更多】

半导体用陶瓷静电卡盘,我们才刚刚起步

——访清华大学潘伟教授

中国粉体网讯  在半导体产业链中,以先进陶瓷为代表的关键零部件是支撑半导体设备实现先进制造的重要载体,也是目前国产化替代的重要领域。同时,以碳化硅为代表的第三代半导体材料已展现出极其重要的战略性应用价值,其中碳化硅单晶制备占据价值链核心位置。4月25日,由中国粉体网主办的“第三届半导体行业用陶瓷材料技术研讨会暨第三代半导体SiC晶体生长技术交流会”【更多】

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