中国粉体网讯 在半导体产业链中，以先进陶瓷为代表的关键零部件是支撑半导体设备实现先进制造的重要载体，也是目前国产化替代的重要领域。同时，以碳化硅为代表的第三代半导体材料已展现出极其重要的战略性应用价值，其中碳化硅单晶制备占据价值链最核心位置。4月25日，由中国粉体网主办的“第三届半导体行业用陶瓷材料技术研讨会暨第三代半导体SiC晶体生长技术交流会”在江苏苏州隆重开幕，会议期间，我们邀请到众多专家学者做客“对话”栏目，围绕先进陶瓷在半导体行业的应用研究及碳化硅单晶生长技术及产业化进行了访谈交流。本期，我们邀请到的是浙江晨华科技有限公司总经理纪相权。
中国粉体网：纪总您好，请您简单介绍一下浙江晨华科技有限公司。
纪总：上海晨华科技股份有限公司（原上海晨华电炉有限公司）是一家专业生产工业电炉的高新技术企业、专精特新企业，下设浙江晨华科技有限公司和上海晨安电炉制造有限公司两家全资子公司和5个办事处。公司成立于2003年，拥有自主技术研发团队、生产管理团队、质量控制团队和售后服务团队，公司自成立以来一直致力于打造“中国最好的电炉”研发生产企业。在航空、航天等国家重点工程和项目的研制基地，全国大多数理工科类院校及科研所下属的实验室都有晨华的参与。
近年来晨华加大科研投入，深入做好产学研的融合和转化，在特种陶瓷行业和半导体行业中都可以看见晨华的设备，为中国的特种新型材料的发展壮大贡献晨华力量。
中国粉体网：纪总，公司产品中适合半导体陶瓷产业的烧成设备有哪些？其优势是什么？
纪总：在陶瓷产业中有：液相渗硅炉、压力浸渍炉、真空裂解炉、CVD/CVI，石墨化炉等。公司拥有近20人的技术设计团队，面向公司订单的工程设计及服务；公司独立研发部拥有博士领衔的10人团队，有机械、材料、工艺、控制等方面的人才，现有800平方的研发实验基地，现有价值500多万研发仪器设备：电子显微镜、XRD、力学性能测试仪器及其他烧结实验设备等。总的来说，公司具备强大的研发能力，这是我们最大的一个优势。
中国粉体网：纪总，近期，国家工信部发布《推动工业领域设备更新实施方案》，这对于工业电炉行业及企业意味着什么？
纪总：实施方案的中心内容上体现了围绕推进新型工业化，以大规模设备更新为抓手，实施制造业技术改造升级工程，以数字化转型和绿色化升级为重点，推动制造业高端化、智能化、绿色化发展，为发展新质生产力，提高国民经济循环质量和水平提供有力支撑。
该方案对设备制造业既是机遇也是一种挑战，特别是对晨华提出更高的要求，新一轮的设备更新也将极大的增加市场需求；方案对设备制造业在产品的高端化、智能化、绿色发展方面又提出新的要求。
晨华研发生产的工业电炉一直积极响应国家对设备制造的要求，增强公司和高等科学院校的合作，加强研发力度，紧跟市场发展的脚步为客户提供优质的设备。相信公司在徐总的领导，通过全体员工的共同努力为行业的发展贡献晨华力量。
中国粉体网：近些年，公司在新产品的开发方面有什么进展？
纪总：近些年，公司主要是将原来的实验性质设备逐步转换成产业性质的设备生产及制造。特别在半导体领域，我们也在积极和科研院校等用户合作，配合生产中工艺改进、优化提高沉积质量和效率等其他问题。针对碳化钽堆积密度的计量问题，正在开展相关研发工作，以后会实现更精确的计量和控制方法，在晨华未来的设备中进行应用，更好的服务于半导体行业。
中国粉体网：纪总，请您谈一谈，公司未来几年的发展目标及规划。
纪总：在精细深耕于工业电炉行业，争取在未来5年公司上市。公司从原来的科研院校新材料实验设备为主，逐步面向行业产业化新材料装备的成套供应商转变。公司加大研发投入和人才，成立复合材料热工装备事业部在（C-C和C-陶、陶-陶优化涂层设备）及电子陶瓷热工装备事业部（半导体先骨干的陶瓷本体和陶瓷基板、静电吸盘等装备的研发），针对半导体行业热工装备提供成套的解决方案。在（C-C和C-陶、陶-陶）等新材料领域深入研究。
中国粉体网：好的，感谢纪总今天接受我们的采访，谢谢。
（中国粉体网编辑整理/空青）
注：图片非商业用途，存在侵权告知删除
