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研究所概况
中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是我国最早的工学研究机构之一。新中国成立后隶属中国科学院，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根据学科领域和科研目标的调整，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所，简称上海微系统所。
研究方向
九十年过去了，上海微系统所参与了我国向现代科学技术进军的全征程。从上世纪五十年代的金属、陶瓷、钢铁冶金研究，发展到六十年代开始的超纯金属、磁性和超导材料、半导体功能材料和器件、集成电路等，到八十年代逐渐形成了微电子学、功能材料和器件、金属腐蚀与防护三大研究领域。
中科院知识创新工程启动后，上海微系统所将学科领域调整为电子科学与技术、信息与通信工程两大重点，确定了“系统带器件，器件带材料”的发展战略。“十二五”期间，上海微系统所进一步凝练出“一三五”战略目标，通过加快信息与通信工程、电子科学与技术两大学科建设，在信息网络/通信（ICT）领域的一些重要方向，如宽带无线传感网、微系统及相关材料和器件、超导电子学率先实现创新跨越，发挥了国立研究机构的骨干引领作用，为“十二五”交上一份完美的答卷。
九十年来，上海微系统所历届领导班子始终把握一个主线，就是紧紧围绕国家战略和国民经济发展需求，改革调整，与时俱进。在这一方针指引下，上海微系统所在冶金陶瓷、金属腐蚀与防护、半导体材料和器件、集成电路、微小卫星、信息通信等领域均取得重要成果。
历任所长
周仁(1928—1973)
周仁先生是中国现代科学技术的先驱，是我国早期学术团体和学术刊物的创始人之一，长期从事冶金陶瓷的研究工作。抗日战争时期，研制成功急需的特种钢材，1949年后，研制成功球墨铸铁并推广生产，该项成果于1956年获国家自然科学三等奖。1953年负责包头和大冶两大铁矿的冶炼及综合利用研究工作，解决了含氟高炉煤气对钢铁结构和含氟炉渣对耐火材料的腐蚀。同年周仁遵照周恩来总理的指示，成立了中国古瓷研究小组，研制出一批具有传统特色、达到古代陶瓷水平的高级陶瓷。周仁与助手撰写的《我国黄河流域新石器时代和殷商时代制陶工艺的科学总结》等14篇论文，填补了我国陶瓷工艺自古只有经验而无理论的空白。
邹元燨(1978—1982)
五十年代初，他和周仁合作对包头含氟稀土铁矿高炉冶炼中氟的行为和冶炼过程进行研究，解决了含氟铁矿高炉冶炼问题并取得高炉设计所需数据，使包钢得以投入全面建设。1957年，他又承担攀枝花铁矿冶炼试验任务，在国际上首先采用钒、钛铁矿高炉冶炼新工艺，实现风口喷吹新技术。同时，他还进行大量的综合利用研究，完成包钢高炉渣中提取硅稀土合金。六十年代后，他致力于半导体材料和有关高纯金属及其物理化学研究。在他的领导下，研制出高纯金属镓、磷、砷等，为国内高纯金属研究和生产奠定良好的基础。此后，他继续致力于砷化镓材料质量的提高及缺陷的研究，运用物理化学观点研究结构缺陷，提出砷化镓结构缺陷模型的新理论。
邹世昌(1983—1997)
邹世昌在六十年代曾负责国防重点任务甲种分离膜（代号真空阀门）的加工成形工作，是成功研制甲种分离膜的第二发明人。七十年代以后在离子束材料改性、合成、加工和分析等方面进行了系统的研究工作，独创了用二氧化碳激光背面辐照获得离子注入损伤的增强退火效应，用全离子注入技术研制成我国第一块120门砷化镓门阵列电路，用反应离子束加工成我国第一批闪光全息光栅，研究SOI材料并制成CMOS/SOI电路，发展了离子束增强沉积技术并合成了氮化硅、氮化钛薄膜。
江绵恒(1997—2002)
研究领域为半导体物理，目前仍在凝聚态物理方面开展研究工作。江绵恒组织并主持了多个中科院重大研究项目，包括燃料电池和氢能、煤基合成油、通信小卫星、无线传感网、院信息化建设以及面向2008年北京奥运会的大气环境监测行动等。尤其是作为“创新一号”小卫星首席科学家，他组织领导了“创新一号”数据通信小卫星的研制，采用卫星、测控和地面应用终端一体化设计的技术途径，对我国微小卫星的研究发展起到了重要作用。“创新一号”小卫星是我国自主研制的第一颗100公斤以下的微小卫星，2003年10月成功发射，2005年获国家科技进步二等奖（排名第一）。
封松林(2002—2010)
封松林在低维半导体物理、材料和器件等方面作出了多项有意义的工作。创造性地用DLTS方法研究超晶格中的深能级，取得同行公认的结果；作为国内自组织生长量子点研究的开拓者之一，用实验证据消除了人们对量子点激光器的疑虑，发展了一种通过控制量子点纵向尺寸实现受限能级一致性的新途径，大幅度提高了材料的质量，实现了激光波长的控制；建立了国内唯一的SPM－MBE联合系统，在低维材料生长机理研究中取得了有特色的结果等。
王曦(2010—2019)
长期致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究，并将研究成果应用于电子材料SOI（Silicon-on-insulator）的开发。在对离子注入SOI合成过程中的物理和化学过程研究基础上，自主开发了一系列将SOI材料技术产业化的关键技术，建立了我国SOI材料研发和生产基地。在载能离子束与固体相互作用以及离子束辅助薄膜沉积技术研究方面，揭示了载能离子作用下薄膜表面微结构、相组分、电子学、光学、生物学特性，实现了载能离子束薄膜生长的可控制性。曾获国家科技进步一等奖及何梁何利基金科学与技术进步奖等多项奖励。
研究成果
上世纪五十年代，在国内率先研制成功球墨铸铁，成功解决了包钢高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收。六十年代中期，发展微电子和集成电路制造技术，与工业部门合作研制出国内第一块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路和国内第一块8位、16位微处理器。八十年代中期，开展微电子机械系统（MEMS）和绝缘体上硅（SOI）材料研究，居国内领先地位，并在国际上占据了重要的一席之地。
1998年进入知识创新工程后，上海微系统所成功发射创新一号01、02和03星、“神舟七号”伴星，是我国微小卫星的重要研制基地；实施了上海世博会防入侵传感网、浦东机场防入侵系统、太湖水质监控传感网、南水北调中线安防系统等物联网应用示范工程，引领物联网核心技术，推升为国家战略性新兴产业；研发出具有自主知识产权的宽带无线通信系统，应用于汶川和玉树抗震抢险、上海世博会等重大事件，在抗震救灾、维稳、公共安全、数字化城市等方面发挥了不可替代作用；SOI材料实现产业化，填补国内空白，应用于国家重大关键工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是国内唯一一个具有国际先进水平的国家级高端硅基材料产业化基地。
“十二五”以来，上海微系统所作为中科院第一个系统级型号任务的技术总体单位，突破了多功能复合传感器等关键技术，确立了特种宽带无线传感网系统解决方案，实现了在我国相关单元的大规模应用和通信体制由窄带向宽带的技术跨越。研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片，应用于北斗导航卫星等国家关键工程，为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。超导单光子探测器SNSPD助力中科大潘建伟院士在国际上首次实现防止黑客攻击的200公里测量器件无关量子密钥分发，成果入选两院院士评选2014年中国十大科技进展。超高g加速度传感器为我国战略装备提供了不可替代产品，打破国际禁运。发起设立的MEMS技术产业化平台-上海微技术工业研究院被列为上海建设具有全球影响力科创中心的“四梁八柱”。
自建国以来，上海微系统所获得国家级科技奖项46项、部省级347项，其中“甲种分离膜”技术获国家科技进步特等奖，“高速、超高速双极型数字集成电路”、“高端硅基SOI材料研发和产业化”获国家科技进步一等奖。
未来，上海微系统所将按照“面向世界科技前沿、面向国家重大需求、面向国民经济主战场”的新时期办院方针，充分发挥电子科学与技术、信息与通信工程两大学科优势，解决智能感知微系统、超导量子器件与电路、高端硅基材料等方向的重大关键科学和技术难题，实现创新跨越并推广应用，成为信息网络/通信（ICT）领域不可替代、“四个一流”的国立研究机构，为建设创新型国家和世界科技强国做出更大贡献。
信息来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
（中国粉体网编辑整理/黑金）
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