氮化硅陶瓷是怎么“炼”成的?


来源:中国粉体网   青黎

[导读]  六种主流技术对比。

中国粉体网讯  氮化硅陶瓷作为一类典型的具有强共价键的无机非金属材料,烧结致密化难度大,通常需要1800℃甚至的高烧结温度和长时间的烧结压力。这些严苛的烧结条件导致了氮化硅材料在致密化过程中容易出现孔隙或裂纹,从而严重影响其力学性能和生物活性。


反应烧结和烧结反应烧结


多孔反应烧结氮化硅(RBSN)的制备工艺始于精细压实的硅粉。这些硅粉在1000至1450°C的氮或氨气氛中长期加热后,会形成α-Si3N4和β-Si3N4两种同素异形体的混合物。氮化过程中不会发生收缩,因为硅粉颗粒间的空隙可以充分容纳约22%的体积膨胀。因此,生坯陶瓷的外形尺寸会保持不变。RBSN主要用于制造形状复杂的部件,而无需使用金刚石工具进行烧结后加工,这使得RBSN部件在经济上具有高度竞争力。尽管RBSN的孔隙率在20%至30%之间,但其机械性能却十分优异,弯曲强度值可轻松达到350MPa。多孔反应烧结氮化硅在医学应用中的一个例子是椎间隔器的多孔内体。


为突破RBSN工艺的密度限制,研究人员在20世纪70年代末至80年代初开发了烧结反应结合氮化硅(SRBSN)方法。该工艺的创新突破体现在:通过在硅粉体系中引入Al2O3、SiO₂、CaO等烧结助剂,并结合多阶段热加工——包括氮化(1400°C/150-300h,氮气混合H2或Ar环境)与高压烧结(1700-1950°C/1-2h,氮气压力0.21-2.1MPa)——成功将材料密度提升至理论值的86%以上。后续研究进一步优化工艺参数,发现当烧结氮气压力突破10MPa时,材料密度可达98%以上,同时抗弯强度显著提升至750MPa量级,实现了力学性能的跨越式发展。


SRBSN工艺不仅延续了RBSN的低成本制造和近净成形优势,更重要的是通过致密化处理显著提升了材料性能,使其物理与机械特性达到与烧结Si3N4相当的先进水平。


热压烧结


1961年,Deeley团队开创性地开展了热压氮化硅(HPSN)的系统研究,在探索无添加剂体系受挫后,创新性地引入镁基化合物(Mg3N2/MgO)作为烧结助剂,建立了3.3-5.0 wt.%的优化配比窗口。实验证实,在23MPa压力、1800±50℃条件下保温4-18分钟,可获得相对密度>99.9%、抗弯强度达690±20MPa的致密陶瓷,这一突破性进展使HPSN成为继RBSN之后第二种可实现工程化应用的Si3N4制备工艺。


常压烧结


在SRBSN和HPSN(热压氮化硅)技术体系成熟后,研究者开始探索无压烧结氮化硅(SSN)的可行性。然而,Si3N4的烧结动力学存在致密化与热分解(Si3N4(s)→3Si(l)+2N₂(g))的竞争机制,这一现象在镁基添加剂体系中尤为显著。


为了提高常压烧结的致密化效果,研究人员开始关注将Y2O3与MgO或Y2O3、Al2O3、AlN等烧结助剂结合,用于氮化硅的无压烧结,并参考了Jack对SiAlON陶瓷的研究。最终Y2O3与Al2O3或Y2O3与MgO成为优选的商业配方。


尽管取得了这些进展,但无压烧结的Si3N4尚未作为一种独特的生物材料得到广泛应用。如今,适当的加工工艺和无损检测可以去除关键缺陷,这些进展将使SSN适用于高可靠性的医疗设备。


气压烧结


气压烧结根据勒夏特列原理,气压烧结(GPSSN)工艺主要被开发用于在致密化过程中抑制氮化硅的分解。通过在烧结过程中施加氮气过压,可以将分解反应逆转(例如:Si3N4(s)←3Si(l)+2N₂(g))。


与SSN类似,关于GPSSN的生物医学测试和应用的报道也很少。但这并不意味着它不适用于医疗器械。实际上,GPSSN与其他Si3N4材料的相似性表明GPSSN能够成为一种有效且安全的生物材料。


放电等离子烧结 


放电等离子烧结(SPS)是一种高效的烧结技术,利用脉冲电流和压力的协同作用在较短时间内实现材料致密化。在施加电流的过程中,样品中不同粉末颗粒的接触点发生局部加热,瞬间温度可升至上千度,从而加速烧结过程。该工艺的核心原理是在高温高压条件下,将氮化硅陶瓷样品置于压力容器中,并施加等离子体压力,使陶瓷粉末迅速致密化,形成致密的固体材料。


SPS技术具备快速烧结、低温低能耗的优点,能够在短时间内实现材料的高致密化和良好的力学性能。此外,SPS还具有较强的颗粒尺寸分布适应性和较好的可控性。 


参考来源:

占喆.石墨烯增韧氮化硅复合材料强韧化机制与生物学功能研究

粉体大数据研究:《生物医用陶瓷材料产业发展研究报告》


(中国粉体网编辑整理/青黎)


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