中国粉体网讯 3月3日，先锋精科发布公告称，公司拟向不特定对象发行可转债募资不超过7.5亿元，用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目、半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发生产新建项目、半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目以及补充流动资金。
先锋精科是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专家，尤其在行业公认的技术难度仅次于光刻设备的刻蚀设备领域，公司是国内少数已量产供应7nm及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商，凭借产品专精的特点在国内本土半导体设备厂商国产化浪潮中占据重要地位，并直接与国际厂商竞争。
据公司公告，半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目实施主体为江苏先锋精密科技股份有限公司。项目总投资额为5,911.37万元，拟使用本次募集资金金额为5,200.00万元。
公司将围绕高性能介电层陶瓷材料精密烧结、微纳电极图案化制备、异质材料高可靠连接、多区精准温控等核心技术难点，开展全链条技术攻关与产品研制，实现陶瓷基板孔隙率低于0.01%（4N及以上）的精密烧结工艺、高精度图案化设计以均匀分布电场，同时达到陶瓷介电层、电极层及基底层等异质材料层间在严苛热循环下的高可靠、低热阻连接，开发出超100温区的分区温控技术。
静电吸盘（ESC）作为半导体刻蚀与薄膜沉积设备中固定、控温及传导射频信号的核心部件，其技术性能直接决定先进制程工艺的精度与稳定性，属于我国半导体设备产业链中亟待突破的关键“卡脖子”环节。当前，全球半导体制造正加速向7nm及更先进制程演进，对静电吸盘的精度、可靠性及耐等离子体腐蚀性能提出了近乎苛刻的要求，国内高端市场长期被海外厂商垄断，已成为制约国产设备竞争力与产业链安全的突出短板。因此，攻克并掌握静电吸盘的自主设计与制造技术，是公司直面行业最严峻挑战、履行产业链核心企业责任的必然选择。
此外，本次募投项目“半导体先进制程非金属材料及器件研发、生产新建项目”旨在向以陶瓷加热器为代表的非金属材料功能器件领域拓展，有助于提高公司在半导体关键功能器件领域的核心竞争力，推动半导体核心功能器件的国产化进程，保障我国半导体产业链安全。
来源：先锋精科公告
（中国粉体网编辑整理/空青）
注：图片非商业用途，存在侵权告知删除
