中国粉体网讯 陶瓷加热器应用于半导体薄膜沉积设备（CVD、PECVD、ALD）、激光退火设备的工艺腔室内，与晶圆直接接触，承载并使晶圆获得稳定、均匀的工艺温度及成膜条件。目前，全球高端陶瓷加热器市场主要由少数几家国际企业主导，尤其是在半导体薄膜沉积设备等关键应用领域。我国在陶瓷加热器领域的自主研制能力和国产化水平仍处于发展初期，国内实现规模化量产并成功应用于主流半导体产线的企业极少。
国内半导体陶瓷加热器实力企业如下（排名不分先后）：
珂玛科技
苏州珂玛材料科技股份有限公司成立于2009年，公司的主营业务聚焦于先进陶瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务，以及泛半导体设备的表面处理服务。珂玛科技早期主要提供圆环圆筒、气流导向、手爪垫片等结构件产品。随着研发的深入，公司开始在陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等“卡脖子”产品上发力。陶瓷加热器方面，公司2016年承担国家02专项至今积累了9年的经验，自2023年四季度起公司已实现陶瓷加热器批量出货，产品用于晶圆厂薄膜沉积环节，关键指标已满足主流客户制程要求。2025年上半年，公司将原有产线搬迁至先进材料生产基地，产能利用率显著提升，截至2025年6月末，公司已累计生产并交付超过1000支。
中瓷电子
河北中瓷电子科技股份有限公司是一家专业从事电子陶瓷系列产品研发、生产和销售的高新技术企业。2022年中瓷电子布局精密陶瓷零部件领域，助力半导体设备零部件国产化。目前，公司已成功开发氧化铝、氮化铝核心材料及配套金属化体系，建立了成熟的制造工艺平台。其陶瓷加热盘产品的核心技术指标已达到国际同类水平，通过用户验证并实现了国产化替代，已批量用于国产半导体设备。2025年上半年，该领域新产品研发取得阶段性进展，已通过国产半导体设备的上机验证并进入批量供货阶段。
海拓创新
广东海拓创新精密设备科技有限公司是一家专注半导体及显示行业关键零部件进行国产化的技术型公司。在国产化静电卡盘及基于静电卡盘为技术核心设备领域的设计、生产具有领先地位。在技术方面，海拓创新应用混凝陶瓷烧结技术，可在较低的烧结温度下实现纳米级陶瓷粉体快速致密化，制备出致密性高、晶体结构稳定、体电阻率分布均匀的陶瓷静电卡盘和陶瓷静电卡盘加热器总成。
思考电子
中山市思考电子科技有限公司是一家专注于半导体科技领域的创新型企业。致力于：半导体晶圆切割刀、氮化铝陶瓷加热器、ESC静电卡盘等产品的研发、生产和销售。2014年，公司将半导体ESC静电卡盘纳入研发项目；2022年，半导体ESC静电卡盘研发突破氮化铝陶瓷高温共烧核心技术；2023年，ESC静电卡盘进入静态装配测试阶段，年底在客户端测试成功，同年衍生出新产品：氮化铝陶瓷加热器。目前，思考电子自主研发氮化铝陶瓷加热器规格尺寸可根据客户需要定做。
福建华清电子
福建华清电子材料科技有限公司成立于2004年，是国内首家具备批量生产能力大规模生产高性能氮化铝电子陶瓷基本材料的国家高新技术企业。2024年，福建华清电子半导体封装材料和集成电路先进陶瓷项目签约重庆，项目产品以氮化铝高纯粉体、氮化铝/氧化铝陶瓷基板、陶瓷覆铜板、高纯氮化硅粉、氮化硅陶瓷基板、陶瓷加热盘、静电吸盘等为主。公司生产的氮化铝加热板可根据客户需要定制尺寸或特殊形状的产品，实现快速加热和冷却，可应用于半导体设备（PVD、CVD、ETCH、处理器）的关键核心部件。
合肥商德
合肥商德应用材料有限公司是安徽商德先进陶瓷股份有限公司（原深圳市商德先进陶瓷股份有限公司）的全资子公司，自成立以来公司一直专注于陶瓷结构件、半导体耗材、电子陶瓷器件的研发和生产。在氮化铝陶瓷加热器领域，商德集仿真设计、全流程生产与精密加工为一体，具备卓越的定制化能力，可满足客户在不同应用场景下的多样化需求。商德生产的氮化铝陶瓷加热器主要材料是AlN，和复杂的钨电路烧结而成，热响应速度快且均匀，温度分布可定制，可集成温度传感器，目前12寸加热盘关键技术已经攻破。
卓瓷科技
无锡卓瓷科技有限公司成立于2021年，主要从事泛半导体领域精密陶瓷部件的研发、生产和销售，公司是国家高新技术企业、江苏省专精特新企业。公司成立以来以“国产替代、中国制造”为使命，聚焦于半导体设备精密陶瓷部件领域，已量产产品包括陶瓷环、陶瓷载盘、静电卡盘、陶瓷圆顶盖、陶瓷腔体盖、喷嘴系列、真空吸盘、多孔陶瓷盘、陶瓷加热器、大型精密陶瓷等，产品在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、量测等设备中得到广泛应用，产品已服务于多家国内主流半导体设备商和晶圆厂。
创格弘芯
上海创格弘芯半导体材料有限公司（全资子公司：宁夏创格半导体材料有限公司），是致力于半导体陶瓷加热器（HEATER）、静电吸盘(ESC)、精密陶瓷器件设计与开发的高新技术企业。公司自成立以来已为国外半导体大厂提供产品，产品已上机验证过。其中宁夏工厂主要投入研发生产氮化铝HEATER/ESC，SHAFT等陶瓷零部件。
广东精瓷
广东精瓷新材料有限公司致力于半导体核心零部件的国产化替代，具有多年HTCC研发及生产经验，专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。具备年产2000套12寸& 8寸氧化铝&氮化铝静电卡盘，20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘的生产能力，并设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心。2025年11月，广东精瓷与广东国研共同承担的《12英寸先进制程用高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制与应用》项目获得立项，获1000万元省级财政资金支持。
合肥晶海热瓷
合肥晶海热瓷半导体有限公司成立于2024年，是芜湖通潮精密机械股份有限公司的子公司。合肥晶海热瓷深耕中高端陶瓷加热器，精确契合半导体晶圆制程高温控制需求，精准适配12寸晶圆中高端制程薄膜沉积设备的应用需求。2024年晶海热瓷投资的半导体设备核心零部件项目正式落地合肥经开区，该项目规划总投资数亿元人民币，主要研发、生产及销售半导体设备用陶瓷加热器及结构件、各类金属加热器等产品。
中科金瓷
中科金瓷(宁波)新材料技术有限公司成立于2023年4月，公司专注于晶圆静电吸盘、陶瓷加热盘等半导体制程陶瓷新材料及相关元器件的研发和产业化，具有从原材料合成与处理、粉料制作、精密成型、烧结、精密和超高精度加工及功能化处理等特种陶瓷和陶瓷基电子元器件全流程技术与制造能力。目前公司主要产品包括各类陶瓷结构件、以及晶圆静电吸盘、陶瓷加热盘等精密陶瓷零部件，广泛应用于半导体制程设备、光伏新能源等多个细分领域，目前多款国产替代产品已进入国内知名半导体设备厂验证阶段。
海古德
无锡海古德半导体有限公司成立于2008年11月，是一家专注于高端半导体电子陶瓷及精密零部件研发、生产和销售的高新技术企业，核心产品包括半导体精密陶瓷零部件（静电卡盘、陶瓷加热器、陶瓷结构件等）和陶瓷基板。目前，海古德已实现大尺寸及高温静电卡盘/加热盘的规模化生产，并与多家半导体设备商和晶圆制造厂达成合作。该企业的陶瓷基板产品已取得IATF16949认证和VDA6.3审核，为车规级功率模块封装提供了可行方案。
（中国粉体网编辑整理/空青）
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