中国粉体网讯 2025年8月6日，在太原市科技局指导下，太原技术转移促进中心、国投晋创谷发展运营有限公司、中北高新区技术产业开发区改革创新部、太原市尖草坪区科学技术局联合举办企业科技成果路演活动。碳方程半导体设备制造（山西）有限公司进行了科技成果路演。
图源：太原科技
碳方程半导体此次路演的核心是“超大尺寸金刚石半导体材料生长设备”。该设备堪称半导体材料生长的“精密摇篮”，通过一系列技术创新攻克了行业关键难题。此项设备采用双微波、四微波的矩阵平行输入方式，微波等离子体呈“矩阵均匀分布”，通过对称微波源输入，多条并行石英管馈入，形成“平行矩阵”均匀馈入；根据电磁场场强值，决定馈入管间距，通过“强-（弱+弱）-强”逻辑实现电磁场“堆叠”；解决了反应区电磁场的均匀分布、等离子密度一致性，实现沉积台温场一致。
图源：太原科技
碳方程半导体设备制造（山西）有限公司，主要从事第三、四代半导体材料专用设备的研发与制造，其核心业务为金刚石半导体材料MPCVD长晶设备的研发与生产，在此基础上纵向重点拓展金刚石大尺寸材料的加工工艺、相关核心装备的配套，旨在实现核心设备的自主化与产业化。
图源：碳方程半导体官网
此次路演，碳方程半导体提出，企业计划拟通过金融贷款或股权融资1000万。资金用于研发投入、扩产、市场拓展和运营。依托山西在装备制造领域的产业基础与“晋创谷”的创新生态，碳方程半导体已构建起“三地协同”的研发与生产体系。其中，山西太原装备生产基地承担核心设备的制造与组装任务，凭借本地完善的工业配套与技术工人储备，确保设备生产的精度与效率；山西长治工艺研究重点实验室则聚焦金刚石材料生长工艺优化，为设备性能迭代提供工艺验证支持；深圳研发实验室则专注前沿技术研发，保持核心技术的领先性。
这种“研发在前沿、制造在山西、工艺在本地优化”的布局，不仅让企业扎根山西科创土壤，更充分整合了多地创新资源，为技术快速迭代与产业化落地奠定了坚实基础。目前，企业已在金刚石半导体设备领域积累了多项核心技术，成为山西半导体装备产业的重要力量。未来，企业致力成为国产金刚石半导体设备领域的头部企业，助力中国半导体产业链自主化。
参考来源：太原科技、山西科技报新媒体、碳方程
（中国粉体网编辑整理/石语）
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