中国粉体网讯 金刚石,作为功能新材料的代表,集高热传导效能、宽禁带特性、卓越的载流子迁移能力、出色的绝缘性能、极佳的光学透明度、以及化学稳定性和抗辐射性等诸多优异特性于一身,其在工业制造、宝石加工、热管理、光学技术以及电子科技等多元化领域展现出了巨大的应用潜力和广阔的市场空间。作为推动我国战略性新兴产业蓬勃发展的核心基础材料,金刚石正为解决国防军事、航空航天、半导体芯片制造等国家重大战略领域中的关键技术瓶颈问题,提供着不可或缺的“终极解决方案”,是推动科技进步与产业升级的关键力量。
+226%!531克拉!更大单炉产量!
稳正科技作为一家技术科研企业,于2013年开启了完全自主的MPCVD工艺研发之路,2018年研发出第一代自主知识产权的MPCVD设备和配套工艺,2019年正式注册投产。公司专注于终极半导体金刚石材料赛道,是全球领先的CVD设备及金刚石材料提供商,也是国内最大单次金刚石毛坯产量的记录创造者。
自2021年于国内率先推出10Kw MPCVD设备后,稳正科技将单台设备产能在原来6kw MPCVD设备的基础上提升了96%,赢得了市场的广泛认可。经过一年多的研发和中等规模生产验证后,稳正科技在金刚石生长技术领域再次实现了突破,成功合成出单炉重量达531克拉的金刚石单晶毛坯。该炉毛坯为57粒9*9mm以及1粒17*13mm晶种生长,成品厚度6-7mm。新设备生长台直径达90-100mm,可将单台设备产能在原来10kw设备基础之上再次提升226%。
新设备的生产过程
单台新设备的产量
稳正科技规模化生产验证
金刚石:更大!更强
金刚石单晶具有超宽的禁带宽度、低的介电常数、高的击穿电压、高的热导率、高的本征电子和空穴迁移率,以及优越的抗辐射性能, 使其成为目前已知的最有前景的宽禁带高温半导体材料, 号称“终极半导体”材料。它在多个高端工业领域扮演着关键角色,如作为高效的热管理材料、高功率微波与激光的透明窗口、优质的传声介质,以及未来计算与存储技术的核心材料。生产更大尺寸、更低成本的金刚石材料,是全球高端产业低成本产业化必须要解决的问题之一。
就生长技术而言,随着大尺寸人工合成金刚石材料制备技术的发展,特别是随着高温高压(HTHP)法、化学气相沉积(CVD)法的研究深入,HPHT法难以可控掺杂且尺寸有限;CVD法则因低杂质和可控掺杂而更受关注。目前,常用的CVD法合成单晶金刚石,主要包括微波等离子体CVD法(MPCVD)、热丝CVD法、火焰燃烧CVD法和直流弧光等离子CVD法等。
微波化学气相沉积(MPCVD)法被认为是最佳方法,MPCVD单晶金刚石生长技术一般采用金属作腔体,由于其微波能量无污染、气体原料纯净、没有催化剂和杂质的掺入等优势,使得金刚石的质量得到改善,在众多金刚石制备方法中脱颖而出,成为制备大尺寸、高品质单晶金刚石最有发展前景的技术之一,这也大大拓展了金刚石材料在高技术领域的应用潜力。
MPCVD设备技术过硬是王道
近年来随着我国CVD金刚石行业技术的不断成熟、市场规模的持续增长以及技术的逐渐扩散,众多中小型CVD金刚石生产企业也加入市场。技术的不断发展,催生着设备的不断研发。
稳正科技聚焦金刚石产业,助力中国高端产业发展,该新设备还可生产直径超过3英寸的多晶金刚石和更大尺寸的单晶金刚石片。目前,稳正科技研发并量产了新型MPCVD设备,功率可达10kW-15kW,单次毛坯产量可提升67%;生产的单晶金刚石在质量和生产销量方面达到了国际水平,产品的可靠性、稳定性和切磨确定强,已广泛用于高端珠宝,并逐步向散热材料、窗口等应用场景拓展;研制的多晶金刚石片具有卓越的物理性能,可用于各种极端环境窗口、极端环境散热器械制备和科研领域。
精湛的MPCVD设备工艺加上严格的质量控制是稳正科技获得客户信任并产生复购行为的决定性因素。目前,稳正科技已与全国四十多家客户稳定合作,其中包含了金刚石行业中的领军企业,稳正科技是其主要的MPCVD设备供应商。
来源:稳正科技、Carbontech
(中国粉体网编辑整理/空青)
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