中国粉体网讯 据QY Research数据，2023年全球半导体用碳化硅陶瓷市场规模为11.11亿美元，伴随着下游行业的刚性需求，预计2030年碳化硅陶瓷市场规模将达到15.78亿美元，2024-2030年复合年增长率为5.09%。
全球市场半导体用碳化硅陶瓷市场规模
来源： QY Research
碳化硅陶瓷：半导体中离不开的零部件材料
半导体制造是现代科技发展的基石，随着行业对更小、更快、更高效集成电路的不断追求，制造过程的精确度和技术复杂性也在不断增加，每一个步骤都离不开高性能、高质量和高精度半导体设备。
碳化硅陶瓷具有高硬度、高熔点、高耐磨性和耐腐蚀性，以及优良的抗氧化性、高温强度、化学稳定性、抗热震性、导热性和气密性等优点，在半导体领域中，碳化硅陶瓷材料主要应用于集成电路制造关键装备中，如研磨抛光、外延/氧化/扩散等热处理、光刻、沉积、刻蚀，离子注入等半导体制程中都得到了广泛应用。
半导体用碳化硅陶瓷市场可根据技术进行分类，其中反应烧结碳化硅是碳化硅陶瓷制造的主要工艺，2023年占据全球市场收入的66.48%，此外CVD碳化硅和无压烧结碳化硅也占据一定比重，其他方法应用相对有限。CVD碳化硅材料因其具有出色的热、电和化学性质的独特组合，使其非常适合在需要高性能材料的半导体行业应用，被广泛应用于刻蚀设备、MOCVD设备和SiC外延设备、快速热处理设备等领域。
根据QY Research数据，2022年全球CVD碳化硅零部件市场收入达到8.13亿美元，预计2028年将达到14.32亿美元，年复合增长率（CAGR）为10.61%。
半导体用碳化硅陶瓷市场集中度高
全球半导体用碳化硅陶瓷的生产主要集中在北美、欧洲和日本，其中日本是最大的生产国，2023年产量占比约为30%。北美、欧洲、中国、日本、中国台湾和韩国是主要的消费地区。其中日本京瓷是全球最大的制造商，2023年收入份额约为23.54%。其他公司如CoorsTek、Tokai Carbon等在业内也颇具知名度，国内有中国建材总院、宁波伏尔肯等。我国在集成电路装备用精密碳化硅结构件的制备技术和应用推广研究起步较晚，与国际领先企业仍有差距。
全球半导体用碳化硅陶瓷市场销售额及增长率
半导体设备碳化硅零部件行业属于半导体产业链最上游，对于产业链具有重要影响。受国际环境及贸易政策变化影响，为提高我国半导体设备及零部件行业自主可控能力，国产设备和零部件日益受到国内晶圆厂商、外延片厂商青睐。随着本土制造商加快技术研发及产业化速度，未来半导体设备碳化硅零部件的国产化进程预计将进一步加快。
来源：QY Research、半导体工艺与设备、中国粉体网、高禾投资研究中心
（中国粉体网编辑整理/空青）
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