苏州面向全球“揭榜挂帅”！高纯合成石英制备关键技术入选！

中国粉体网讯  6月26日，苏州市科学技术局官网发布了关于2024年度苏州市面向全球“揭榜挂帅”关键核心技术攻关需求的公示。其中，高纯合成石英制备关键技术入选！

技术需求名称:高纯度合成石英制备关键技术

（一）任务内容

高纯度合成石英玻璃是高精度光学仪器的关键材料，高精度光学仪器对石英材料指标要求极高。本项目通过研究和开发石英玻璃高均匀控制技术、超低应力控制

技术、超低金属杂质含量控制技术、缺陷控制技术和渗氢技术，实现高纯度合成石英材料开发。

（二）关键考核指标

(1)石英玻璃光学均匀性:≤1ppm;

(2)石英玻璃内透过率:193nm透过率≥99.5%;

(3)石英玻璃应力双折射:≤1nm/cm;

(4)石英玻璃条纹(3D):无可见条纹;

(5)石英玻璃杂质总含量:≤10ppb;

(6)氢分子含量:>1x10¹⁶/cm³。

石英玻璃是应用日益广泛的高新技术材料。石英玻璃的成分为二氧化硅，具有透光性高、耐温性好、膨胀系数低等优越的物化性质，因此被广泛应用于半导体、光伏、光学、光纤和军工等高新技术领域。

据了解，合成石英玻璃是先制备高纯SiCl₄，用SiCl4制成高纯二氧化硅粉，再用二氧化硅粉制造合成石英玻璃。自然界中水晶矿石的SiO₂含量最高,一般为99.99%，其中含有金属杂质总量为50-100ppm，经过物理化学提纯后，SiO₂最高含量为99.999%，由于矿石中的微量包裹体，导致Al含量比较高，总金属杂质含量在10~30ppm，仍不能满足特殊产品的要求，比如光纤预制棒、集成电路中光刻工序的掩膜片等高科技行业，均要求SiO2的金属含量<1ppm，因而需要开展合成SiO₂的研究和生产，以满足高科技产业的需求。

参考来源：

[1]周全等，石英砂提纯及石英玻璃加工工艺的研究

[2]苏州市人民政府；苏州市科学技术局；中国粉体网

（中国粉体网编辑整理/九思）

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