中国粉体网讯 近日，据六方半导体消息，公司聚焦碳化硅涂层技术，突破国外技术垄断，实现了碳化硅涂层产品在半导体领域的部分国产替代。
据悉，六方科技创始人、甬江实验室热场材料创新中心主任何少龙博士申报的项目“超高纯耐高温耐腐蚀陶瓷涂层材料研究及应用探索”通过答辩，被纳入“尖兵领雁”研发攻关计划，获得浙江省重大科创平台省级财政补助资金2000万。
项目主要聚焦碳化硅、碳化钽、碳化钨等超高纯度、耐高温、耐腐蚀的陶瓷涂层材料的基础研究以及产业化应用，最终将技术成功转化为产品。
半导体涂层材料作为各类芯片上道工艺的关键耗材，一直以来被国外领先的企业垄断，但在全球技术竞争的大背景下，该类材料的国产化日益紧迫。因此，该项目的通过并获得资助，对开展先进陶瓷涂层材料具有极大的推动作用，未来通过实验室成果转化，为六方科技持续引领先进涂层技术奠定坚实基础。
碳化钽涂层产品
关于六方半导体
六方半导体是成立于2018年的半导体涂层材料公司，以SiC涂层为切入口，并已向TaC涂层、Solid SiC领域拓展，主要产品包括应用于LED外延、第三代半导体外延、光伏领域的SiC涂层材料等。目前，公司TaC产品、晶舟等产品已开始逐步商业化，Solid SiC等产品处于商业化起始阶段。该类型产品服务于快速增长的第三代半导体衬底、国产化率接近零的集成电路关键工艺领域，增长潜力大。
来源：六方半导体、链榜
（中国粉体网编辑整理/空青）
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