中国粉体网讯 近日，国力股份在互动平台表示，在半导体设备制造领域，公司的陶瓷高压真空继电器、陶瓷真空电容器已应用于刻蚀机等半导体设备中的匹配器等单元。
国力股份专业从事电子真空器件的研发、生产与销售。公司产品系列丰富、型号众多，涵盖真空无源器件和真空有源器件，目前已经研发生产的真空无源器件包括陶瓷高压真空继电器、陶瓷高压直流接触器、交流接触器、陶瓷真空开关管、陶瓷真空电容器等，真空有源器件包括大功率闸流管、大功率磁控管、大功率速调管等。
真空继电器产品
其中，陶瓷高压真空继电器是一种控制电路的重要电子真空器件，具备处理高功率的能力，能在高频、高压、大电流等苛刻条件下工作。陶瓷真空电容器是一种真空密封的高电压电容器，产品具有耐压高、承载电流大、损耗小、寿命长等特点，在发射机的电路中用于频率的调谐以及滤波，在半导体设备应用中调节容量实现高频电源与负载阻抗的匹配以获得最大功率的输出。这两种陶瓷器件均可应用于半导体设备领域。
在半导体行业中，设备投资占半导体产业资本支出的60%-70%。作为半导体生产设备的关键部件，陶瓷部件的研发生产直接影响着半导体装备制造业乃至整个半导体产业链的发展。可以说，陶瓷部件是整个半导体产业基础中的基础。我国在半导体设备用精密陶瓷结构件及陶瓷类电子器件的研发和应用方面起步较晚，在大尺寸、高精度、中空、闭孔、轻量化结构的结构陶瓷零部件的制备领域有诸多关键技术问题有待突破，此外，国内半导体设备陶瓷电子器件供应商数量也相对较少。因此，无论从经济安全角度还是产业成本角度考虑，要突破我国半导体产业面临的“卡脖子”窘境，必须重视陶瓷部件等半导体生产设备关键部件的国产化发展。
信息来源：每日经济新闻、国力股份官网
（中国粉体网编辑整理/山川）
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