一文了解石英坩埚鼓包的原因和解决方法


来源:晶格半导体

[导读]  石英坩埚鼓包的原因有很多,其中最主要的原因是在加热过程中,坩埚内部的气体无法顺畅地排出,导致气体在坩埚内部积聚,从而使坩埚壁面产生了鼓包

中国粉体网讯  石英坩埚鼓包的原因有很多,其中最主要的原因是在加热过程中,坩埚内部的气体无法顺畅地排出,导致气体在坩埚内部积聚,从而使坩埚壁面产生了鼓包。这种现象通常发生在石英坩埚的高温加热过程中,因为石英坩埚的热膨胀系数比较小,而且石英坩埚的热传导性能也比较差,所以在加热过程中,坩埚内部的气体无法及时排出,从而导致了鼓包的产生。除了气体积聚的原因外,石英坩埚鼓包的产生还可能与坩埚的制作工艺、使用条件、加热方式等因素有关。


烧炼温度过高:石英坩埚在高温下会变软,如果烧炼温度超过其耐温极限,它就会畸变、变形,甚至出现鼓包现象。


热震原因:石英坩埚因为长时间在高温环境下,如果突然受到冷却或者遭受快速的温度变化,会引起热震现象。热震会导致坩埚表面出现撕裂甚至鼓包。


内部有明显缺陷:石英坩埚在制作过程中存在生产缺陷,例如存在空洞、气泡或者裂纹等缺陷,这些问题会出现在使用过程中,并表现为鼓包等问题。


化学物质腐蚀:石英坩埚耐腐蚀性很强,但在强氧化性的氢氟酸、硝酸、氢氯酸等化学物质中,石英坩埚会出现鼓包等问题。


非均匀受力:在使用过程中,如果内外壁处于不均匀热力状态,会产生应力,可能导致鼓包。


为了避免石英坩埚鼓包的产生,我们需要在使用过程中注意以下几点:首先,选择质量好、制作工艺精细的石英坩埚;其次,在加热过程中,要注意适当降低温度、控制升温速度,避免过快过热;最后,在加热前要将坩埚内部清洗干净,避免在坩埚内部放入不适合加热的物质。


(中国粉体网编辑整理/星耀)

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