中国粉体网讯 Ferrotec Material Technologies Corporation于12月25日在石川县能美郡川北町的新工厂建设工地上举行了奠基仪式。为了构建涵盖半导体制造设备用高纯精细陶瓷部件的材料、加工和组装工艺的大规模量产体系,该公司计划在石川县能美郡川北町建设石川第3工厂。
精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件,具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能,应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。其是最具有代表性的半导体精密部件材料,据相关专家介绍,陶瓷部件成本占半导体设备成本10%以上。
目前,石川第一工厂是易于机械加工的可切削陶瓷材料和加工的大规模生产工厂,主要生产半导体和液晶制造用零件、检查夹具等。此外,石川第二工厂还作为扩大可加工陶瓷材料的批量生产以及加工半导体制造设备用高纯度精细陶瓷部件的加工厂。基于石川第一和第二工厂的作用和功能,新建的石川第三工厂将成为涵盖半导体制造设备用高纯度精细陶瓷部件的材料、加工和组装工艺的大规模量产系统。据介绍,第三工厂占地面积30,000平方米,计划于2025年上半年开始运营。
Ferrotec Material Technologies Corporation拥有多种高纯度精细陶瓷和可加工陶瓷产品阵容,主要供半导体制造设备和零部件制造商使用。鉴于半导体市场预计将在中长期增长的趋势,Ferrotec Material Technologies将与母公司Ferrotec Holdings一起继续投资于研发和量产,以扩大产能。
(中国粉体网编辑整理/空青)
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