将纳米尺寸的铁磁性微粉(纳米颗粒)分散于绝缘性非磁性膜内或膜表面的薄膜,作为下一代传感器和存储器材料正受到普遍关注。为获得磁特性(软磁性,硬磁性)优异的这种薄膜,就必须对于构成薄膜的磁性纳米颗粒的粒径和粒间距离以及颗粒结晶方位等加以严格控制。本文研究者选择非晶态Al2O3作为绝缘相,获得了磁特性优良的Fe系纳米粉。
首先在加热到573~673K的单晶NaCl(100)解理面底板上真空蒸镀上Au,Au纳米颗粒大致均匀地分散在NaCl上。随后在有Au纳米颗粒分散的NaCl上真空蒸镀上Fe,Fe即可完全被Au纳米颗粒捕获,形成尺寸均匀的bcc-Fe纳米颗粒。为了纳米颗粒的固定和防止Fe氧化,再真空蒸镀Al2O3,将底板NaCl用蒸馏水溶解除去后即可获得在非晶态Al2O3膜上均匀分散的取向性bcc-Fe纳米颗粒。
采用Pt取代上述制取过程中所用之Au作为晶种制取Fe纳米颗粒时,按上述方法可制得Fe与Pt均以单体存在的产物,如果在真空蒸镀后再经773K以上温度退火,则可使Fe与Pt互相固溶而得到Fe-Pt合金纳米颗粒。经过873K×6h的退火,则可形成L10型FePt有序合金纳米颗粒,其矫顽力为280kA/m、方形比(Br/Bs)为0.74。Fe可被贵金属“晶种”所捕获,通过控制Au和Pt在底板上的分散形态,即可相当好地控制Fe纳米颗粒的粒径和颗粒间距离。