中国粉体网讯 精细陶瓷和金属、塑料材料相比，具有更卓越的强度、抗腐蚀性和耐热性等特性，是具有独特魅力的一种先进材料。日本碍子充分利用该特点，将其应用到众多产业之中。其中，陶瓷加热器和静电吸盘等，为半导体制造过程带来了巨大的变革，也显示出精细陶瓷具有的无限可能性。
半导体制造中必不可少的就是化学气相沉积（CVD）和刻蚀的环节。在这些环节中使用的制造设备需要具备保护硅晶圆、加热温度均衡、且不易被二氧化碳和等离子腐蚀等要求。日本碍子在满足这些要求的基础上，以氮化铝（AlN）陶瓷为主，发挥材料的特性，将半导体制造设备上需要使用的静电吸盘、加热器、各种零部件产品化。
日本碍子的陶瓷加热器
日本碍子生产的陶瓷加热器，被设计用于支撑和加热硅晶片。它们由具有出色导热性的氮化铝(AlN)制成。它们与电阻加热元件共同烧结，以提供出色的热均匀性，并减少金属污染。
日本碍子的静电吸盘
日本碍子生产的静电吸盘，被设计用于夹住硅片并使其保持平整，从而使硅片均匀地散发从等离子体接收到的热量。其静电卡盘具有优异的强度、导热性和抗热震性，并且由于其专有的体积电阻率控制技术，能够适应各种温度。用于此应用的材料有氮化铝（AlN）和氧化铝（Al2O3）。
日本碍子的陶瓷零部件
（中国粉体网编辑整理/平安）
注：图片非商业用途，存在侵权告知删除！
