中国粉体网讯 半导体关键零部件是芯片产业发展的重要基石,以碳化硅为代表的先进陶瓷材料,更是破解设备耗材“卡脖子”难题、推进产业链自主可控的核心一环。当前,国内多地加速布局碳化硅新材料产业,一批本土项目落地开工、企业技术持续迭代,国产化替代步伐不断加快,为我国半导体产业高质量发展注入坚实的材料力量。
项目落地江苏金湖,打造碳化硅一体化生产基地
近日,由江苏金湖县经济开发区引进的高纯高致密碳化硅部件及多晶衬底产业基地项目正式开工,为县域新材料产业向高端化迈进、半导体产业链配套能力提升再添新引擎。

来源:金湖发布
该项目由泰坦未来半导体(江苏)有限公司投资新建,定位高纯高致密碳化硅部件及多晶衬底一体化生产基地。项目盘活闲置地块67亩,改造厂房1.25万平方米,新建厂房5100平方米,购置化学气相沉积炉、处理炉、超声波清洗机、冷却水系统等设备,主要生产半导体用高性能碳化硅、碳化钽涂层系列产品。全面投产后,可年产20万片半导体用高性能碳化硅、碳化钽涂层产品,实现销售6亿元,新增入库税收3000万元。
湖南铠欣新材攻坚破局,跑出国产化替代加速度
在湖南益阳,本土企业湖南铠欣新材料科技有限公司同样在碳化硅材料赛道奋力突围,跑出关键零部件国产化替代的“加速度”。
铠欣新材落户益阳高新区始于2019年,企业起步阶段主打碳化硅涂层石墨基座,产品主要配套MOCVD(金属有机物化学气相沉积)设备。依托持续的技术攻坚,企业深耕半导体新材料赛道,经营规模实现从百万元级到千万元级的跨越;随着改扩建项目落地,企业年产值将向亿元级别冲刺。
2020年,铠欣新材凭借“半导体设备用高纯碳化硅涂层关键零部件产业化”项目,斩获湖南省创新创业大赛初创企业组第三名(二等奖)。高纯碳化硅涂层关键零部件是芯片制造设备不可或缺的消耗件,企业技术团队掌握自主可控的化学气相沉积高纯碳化硅涂层核心技术,成功突破行业“卡脖子”难题,打破海外企业长期市场垄断,完成该类产品的国产化替代。

来源:益阳高新
立足现有技术积淀,铠欣新材不断拓宽产品应用边界,积极布局烧结碳化硅、块体碳化硅的研发与产业化。去年,企业产品得到硅基集成电路外延、先进制程高纯零部件市场的充分认可,顺利拿下批量订单,国产化替代进程驶入快车道。自去年下半年首条产线投产以来,目前企业已实现两条产线同步运行。今年9月,企业总投资2亿元、规划新增9000片产能的高端碳化硅陶瓷零部件研发和产业化项目正式获批。当前项目厂房建设有序推进,研发技术团队规模扩充至原先的3倍,预计明年下半年4条新产线建成投产,届时企业年产值有望突破1.5亿元。
截至目前,铠欣新材已累计取得40余项知识产权。企业产品线覆盖硅外延设备碳化硅石墨基座、半导体设备纯碳化硅制品、烧结碳化硅制品以及光伏与半导体碳化硅涂层热场产品等,广泛服务于硅基半导体、第三代半导体、LED、光伏等多个产业。2025年前三季度,企业业绩已经突破4000万元。
参考来源:金湖发布、益阳高新
(中国粉体网编辑整理/初末)
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