中国粉体网讯 近日,苏州珂玛材料科技股份有限公司发布2026年半年度报告,报告显示,公司上半年营业收入为5.92亿元,同比增长13.80%;归母净利润为9824.70万元,同比下降42.83%;扣非归母净利润为9638.92万元,同比下降43.48%。
珂玛科技主营业务为先进陶瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务以及泛半导体设备表面处理服务。先进陶瓷材料是采用高度精选或合成的原料,具有精确控制的化学组成,并且具有特定的精细结构和优异性能的陶瓷材料。公司是国内本土先进陶瓷材料及零部件的领先企业之一,掌握关键的材料配方与加工工艺,并具备先进陶瓷前道制造、硬脆难加工材料加工和新品表面处理等全工艺流程技术。
公司目前拥有由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛6大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系,主要类型材料的耐腐蚀、电绝缘、高导热、强机械性能等性能已达到国际主流客户的严格标准。
公司用于半导体设备的先进陶瓷材料零部件产品主要应用于腔室内,其中部分零部件直接与晶圆接触,是集成电路制造中关键的精密零部件,包括圆环圆筒、气流导向、承重固定和手爪垫片等结构件产品,以及陶瓷加热器、静电卡盘以及超高纯碳化硅套件等高难度“功能-结构”一体模块化产品。
超高纯碳化硅套件
珂玛科技超高纯碳化硅套件适用于氧化扩散设备、部分薄膜沉积设备,其功能是通过精确控制温度、气体氛围、反应时间,使硅材料发生化学反应或物理变化,从而形成集成电路所需的晶体结构和电学性能。
在客户拓展方面,公司6英寸重结晶套件通过北方华创及Fab端验证并小批量供应;8英寸重结晶套件通过北方华创验证,正在Fab端推广;12英寸渗硅套件部分部件,例如Cap、隔热片等已通过北方华创验证并小批量供应,其他部件例如晶舟等尚在验证中。截至2026年6月末,产品已小批量出货。
CVD碳化硅部件
珂玛科技CVD碳化硅部件适用于刻蚀机等半导体设备,其功能是协同控制腔内的气流、电场与等离子体,共同保障晶圆表面的高均匀性刻蚀。在客户拓展方面,12英寸ICP/CCP刻蚀机部件多款产品已通过北方华创、中微公司验证。截至2026年6月末,产品已小批量出货。
据悉,珂玛科技2026年上半年及2025年同期其他材料零部件产品收入分别为1,628.34万元和254.53万元,呈增长趋势。其他材料零部件主要包括金属零部件、石墨零部件和CVD碳化硅涂层零部件,其中金属零部件主要产品包括上部电极、壁板等,主要用于显示面板生产设备;石墨零部件和CVD碳化硅涂层零部件系苏州铠欣业务,在2025年7月公司完成对苏州铠欣的并购后,其销售收入助力了其他材料零部件收入规模的增长。
珂玛科技称,公司控股子公司苏州铠欣的苏州一期工厂项目已于2025年末建成投产,进一步扩充了碳化硅涂层及碳化硅陶瓷零部件的加工能力。公司于2026年4月完成发行可转换公司债券,募集资金总额人民币7.5亿元,主要投向“结构功能模块化陶瓷部件产品扩建项目”、“半导体设备用碳化硅材料及部件项目”及补充流动资金。2026年4月起,“结构功能模块化陶瓷部件产品扩建项目”已正式开工建设,项目达产后预计将新增静电卡盘产能2,500只/年、陶瓷加热器产能600只/年;“半导体设备用碳化硅材料及部件项目”将组建碳化硅陶瓷结构件产品全流程生产工厂,新增碳化硅结构件及超高纯碳化硅套件产能。
来源:珂玛科技半年报
(中国粉体网编辑整理/初末)
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