中国粉体网讯 近日，江苏戎洲芯科技有限公司在灌南高新技术产业园正式开业。江苏戎洲芯科技有限公司由上海戎洲芯科技有限公司投资建设，专注于半导体高端功能型湿电子化学品的产业化。其核心产品研磨砂、抛光液，广泛应用于硅晶圆衬底研磨、碳化硅衬底抛光等高端制造环节，直接瞄准被国外长期封锁的关键材料技术。
碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应，给现有的加工技术带来了巨大的挑战。碳化硅相较于第一、二代半导体材料具有更优良的热学、电学性能，如宽禁带、高导热、高温度稳定性和低介电常数等，这些优势使得以碳化硅为代表的宽禁带半导体材料广泛应用于高温、高频、高功率以及抗辐射等极端工况。作为高性能微电子和光电子器件制造的衬底基片，碳化硅衬底加工后的表面、亚表面质量对器件的使用性能有着极为重要的影响，因此，其加工不仅要保证较高的面型精度和亚纳米级的粗糙度，还要避免表面及亚表面损伤。碳化硅的主要加工过程分为切割、磨削/研磨以及抛光，其中磨削/研磨以及抛光这两道工序是决定碳化硅衬底最终加工质量优劣的关键工序。由于碳化硅被视为典型的硬脆性难加工材料，其加工过程面临着效率低、成本高以及对环境不友好等问题。
目前业内最主流的化学腐蚀反应抛光技术是化学机械抛光术，化学机械抛光技术是一种在加工过程中利用化学试剂腐蚀和磨粒机械去除复合的方法对衬底材料进行超精密加工的反应抛光技术，能够获得超光滑甚至无损伤的衬底表面。抛光液是影响化学机械抛光质量和抛光效率的关键因素，组分一般包括磨粒、氧化剂和其它添加剂。添加剂一般包括络合剂、螯合剂、缓蚀剂、表面活性剂，以及pH调节剂等。通常根据被抛光材料的物理化学性质及对抛光性能的要求，来选择所需的成分配置抛光液。
江苏戎洲芯项目从2025年8月签约，到2026年4月正式开业，仅用8个月。目前，项目已进入试生产阶段。全面达产后，预计年产3000吨半导体用研磨砂和3000吨半导体用抛光液。
参考来源：花果山英才、中国粉体网、湖南大学学报
（中国粉体网编辑整理/山林）
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