中国粉体网讯 聚焦环是放置在晶圆外部、直接接触晶圆的重要部件，通过将电压施加到环上以聚焦通过环的等离子体，从而将等离子体聚焦在晶圆上以提高加工的均匀性。
传统的聚焦环由硅或石英制成，随着集成电路微型化推进，集成电路制造对于刻蚀工艺的需求量、重要性不断增加，刻蚀用等离子体功率、能量持续提高，尤其是电容耦合（CCP）等离子体刻蚀设备中所需等离子体能量更高，因此碳化硅材料制备的聚焦环使用率越来越高。
国内碳化硅聚焦环实力企业榜单如下（企业排名不分先后）：
苏州珂玛材料科技股份有限公司
苏州珂玛材料科技股份有限公司业务主要包括先进陶瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务以及泛半导体设备的表面处理服务等。公司拥有由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛，六大类材料组成的先进陶瓷基础材料产品体系，主要应用于腔室内，其中部分零部件直接与晶圆接触，是集成电路制造中关键的精密零部件，包括聚焦环等产品。
吉盛微（武汉）新材料科技有限公司
吉盛微（武汉）新材料科技有限公司成立于2023年3月，为盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司在武汉投资成立，主要从事半导体及泛半导体设备用CVD SiC原材料及SiC 部件（Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等）、超高纯高精密陶瓷材料及部件、SiC Epi Wafer、CVD SiC设备的研发及生产制造。2023年12月8月，吉盛微（武汉）新材料科技有限公司碳化硅制造基地在武汉经开综合保税区正式投产。目前，该公司已完成了刻蚀、扩散、外延、快速热处理等多个工艺的零部件、耗材开发工作，覆盖碳化硅聚焦环、簇射极板以及晶圆舟等领域，部分产品填补了国内空白，具备稳定的生产供货能力。
深圳市志橙半导体材料股份有限公司
深圳市志橙半导体材料股份有限公司成立于2017年，公司成立以来主要研发、生产、销售用于半导体设备的碳化硅涂层石墨零部件产品，并提供相关碳化硅涂层服务，主要产品可用于碳化硅（SiC）外延设备、MOCVD设备、硅（Si）外延设备等多种半导体设备反应腔内，公司产品及服务广泛应用于半导体及泛半导体领域。同时志橙半导体也在积极开展外延、刻蚀、氧化扩散和晶体生长等半导体设备用实体碳化硅零部件、烧结碳化硅零部件和碳化钽涂层石墨零部等新产品，包含聚焦环、气体喷淋头等实体碳化硅零部件，炉管等烧结碳化硅零部件等产品，用于刻蚀设备的实体碳化硅零部件产品聚焦环已取得研发突破，进入客户验证阶段。
浙江六方半导体科技有限公司
浙江六方半导体科技有限公司成立于2018年，专注于半导体新材料研发及生产的企业，为半导体关键上道工艺（长晶、外延、刻蚀等）提供半导体涂层产品，主要产品为 LED芯片外延用SiC涂层基座、化合物半导体涂层组件、硅单晶外延基座、新一代光伏用涂层部件、SiC聚焦环等。3月23日，由六方科技创始人何少龙牵头主持的国家重点研发计划“高端功能与智能材料”重点专项“大尺寸超高纯超厚立方相碳化硅材料制备关键技术及应用”项目启动会暨实施方案论证会顺利举行。该项目聚焦于刻蚀设备所需的聚焦环和快速热处理设备所需的边缘环，深入研究大尺寸超高纯超厚CVD-SiC材料生长方法、部件精密加工技术、服役性能与失效机理，同时开展产业验证与全产业链应用研究，解决 CVD-SiC精密部件的国产化难题，关系到国家优先发展的重点领域。
深圳云在上半导体材料公司
深圳云在上半导体材料有限公司是一家专注于半导体核心材料与零部件研发和生产的高新技术企业，是省重点高新技术企业。2019年，公司切入半导体芯片行业的产业链，通过海外并购和自主研发并行的模式，迅速占领Fab领域高端客户市场，与韩国头部企业FST与KSTE得益于前期合作与共同开发，积极布局半导体芯片设备和关键材料并实现国产化，云在上用三年时间完成从基础研究到产业链的整合，成功研发出静电吸盘与碳化硅聚焦环两款产品，目前，已与国内头部芯片厂商结成战略合作伙伴。2024年5月份，公司与老河口市政府签订了《云在上碳化硅产业园项目投资协议》，项目投资10亿元，主要生产芯片中的关键耗材。
凯乐士股份有限公司（Kallex Company,Ltd.）
凯乐士股份有限公司（Kallex Company,Ltd.）成立于1996年，碳化硅(SiC)的及其他各种精密陶产品的研发和制造。目前的产品主要应用于耐磨损，耐腐蚀，耐高温，耐电浆轰击，高导热，高散热，低污染，寿命长等一种或同时数种以上各式严苛要求之环境的产业领域。凯乐士备有各种型式规格碳化硅聚焦环，且可客制化制作。
轩运科技有限公司
轩运科技有限公司（Max Luck Technology Inc.），成立于2015年4月，是半导体设备零件专业设计、制造及销售厂商。轩运科技独家代理国际半导体制程与设备改良改善方案CIP（Continuous Improvement Process）能力，产品涵盖半导体前端设备的耗材翻修及模组代工，解决客户良率提升、延长使用寿命和缩短等待时间。
Semicorex
Semicorex是化学气相沉积(CVD)碳化硅涂层产品的供应商，提供各种高质量产品，例如碳化硅涂层石墨基座、碳化硅涂层、深紫外外延基座、CVD衬底加热器、CVD碳化硅晶圆载体、晶圆舟以及半导体元件和碳化硅陶瓷产品等。Semicorex CVD SiC 聚焦环经过精细沉积和机械加工，以获得最终产品。
来源：
化合物半导体洞察：半导体设备碳化硅（SiC）零部件行业研究报告
各企业官网、武汉经开区、企业招股书
（中国粉体网编辑整理/空青）
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