根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学全反射X射线荧光光谱仪进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：山东大学全反射X射线荧光光谱仪
项目编号：SDJXHF20220252-Z098
项目联系方式：
项目联系人：王老师
项目联系电话：0531-88369797
采购单位联系方式：
采购单位：山东大学
采购单位地址：山东省济南市山大南路27号
采购单位联系方式：鲁老师 0531-88363689
一、采购项目内容
在半导体材料及工艺研究中，全反射X射线荧光光谱仪可用于晶片表面及近表层分析，其极低的检出限、极少的用样量、极高的准确度，能够测量所有晶圆工艺中的晶圆污染，检测元素Na~U，从而控制外延及器件生产的质量和成品率。
经用户调研，日本Rigaku公司的TXRF 3760能够检测8英寸高达200mm的晶圆、具有专利的XYθ样品台系统、真空晶圆机器人传送系统和扫描软件系统、可提供最大35KV的高压与最大300mA的电流输出，但最大功率输出为9KW、最低侦测极限 (LLD)达到W-Ma Al≦5.0x1011等，成为唯一一款应用于半导体晶圆领域的全反射X射线荧光光谱仪，因此，采取单一来源方式采购。指定代理公司为南京木木西里科技有限公司。
拟定的唯一供应商名称：南京木木西里科技有限公司
二、开标时间：2022年12月15日 16:00
三、其它补充事宜
报名流程：
登录山东大学招标采购管理中心网站（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）进行供应商注册，注册完成我中心审核通过后，在报名截止时间前再次登录系统在线报名本项目，报名审核成功后自助下载采购文件。
四、预算金额：
预算金额：700.0000000 万元（人民币）
