“上海制造”入选首条5纳米芯片生产线


来源:解放日报

[导读]  最近,中微半导体设备(上海)有限公司收到一个好消息:其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,中微突破关键核心技术,让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。

中国粉体网讯  5纳米,相当于头发丝直径(约0.1毫米)的二万分之一,将成为集成电路芯片上的最小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产,预计2020年量产。最近,中微半导体设备(上海)有限公司收到一个好消息:其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,中微突破关键核心技术,让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。


走进位于金桥出口加工区的中微公司,就要换上公司提供的皮鞋,这家精密制造企业要求一尘不染。在洁净室门外,记者看到身穿白色工作服,戴着白帽子、口罩和手套的研发人员,正在测试一台大型设备,它就是全球屈指可数的5纳米刻蚀机。只见一片片300毫米大硅片被机械手抓起,放入真空反应腔内,开始了它们的刻蚀之旅。“多种气体会进入真空反应腔,经过化学反应变成等离子气体,随即产生带电粒子和自由基,与硅片发生化学物理反应。”中微首席专家、副总裁倪图强说,这些化学物理反应在硅片上开槽打洞,形成令人叹为观止的微观结构,一块指甲盖大小的芯片可集成60多亿个晶体管。




方寸间近乎极限的操作,对刻蚀机的控制精度提出很高要求。刻蚀尺寸的大小与芯片温度一一对应,中微自主研发的部件使刻蚀过程的温控精度保持在0.75摄氏度内,达到国际领先水平。气体喷淋盘是刻蚀机的核心部件之一,中微和国内企业联合开发出一套创新工艺,用这套工艺制造的金属陶瓷,其晶粒十分精细、致密。与进口喷淋盘相比,国产陶瓷镀膜的喷淋盘使用寿命延长一倍,造价却不到五分之一。


创新成功的秘诀是什么?秘诀之一是超前布局研发。2004年中微创立时,全球最先进的芯片生产线是90纳米制程,那时他们就开始研发40纳米刻蚀机,因为集成电路产业技术迭代很快,超前两代研发才能掌握主动权。拥有国际化团队,也是一个成功原因。经过本土培养和海外引进,中微600多名员工来自十多个国家和地区。而且公司研发团队很完整,200多人的专业覆盖30多门学科,为刻蚀机研发这一系统工程奠定了基础。


凭借自主创新,中微已申请1200多件国内外专利。“因为有大量专利保护,我们经历4次与发达国家企业的知识产权诉讼,未尝败绩。”公司副总裁曹炼生说。如今,中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起,组成了国际第一梯队,为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。明年,台积电将率先进入5纳米制程,已通过验证的国产5纳米刻蚀机预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额。(中国粉体网编辑整理/胡一)


推荐13
相关新闻:
网友评论:
0条评论/0人参与 网友评论

版权与免责声明:

① 凡本网注明"来源:中国粉体网"的所有作品,版权均属于中国粉体网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:中国粉体网"。违者本网将追究相关法律责任。

② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。

③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。

粉体大数据研究
  • 即时排行
  • 周排行
  • 月度排行
图片新闻